[发明专利]重载精密型多维位姿调控系统

说明书

本发明提供一种重载精密型多维位姿调控系统，包括：搭载台；第一负载调节装置，第一负载调节装置包括第一底座、第一升降驱动机构、第一Z向升降台、第一Y向平移组件以及第一X向平移组件；第二负载调节装置，第二负载调节装置包括第二底座、第二升降驱动机构、第二Z向升降台、第二Y向平移组件、第二X向平移组件以及第二X向驱动机构；第三负载调节装置，第三负载调节装置包括第三底座、第三升降驱动机构、第三Z向升降台、第三X向平移组件、第三X向驱动机构、第三Y向平移组件以及第三Y向驱动机构。本发明能够对腔体系统沿X轴方向、沿Y轴方向、沿Z轴方向、绕X轴转动、绕Y轴转动以及绕Z轴转动进行精准调节。

技术领域

本发明涉及精密设备调控技术领域，特别是涉及一种重载精密型多维位姿调控系统。

背景技术

在工程技术领域，大负载、高精度的六维调节搭载台被广泛用于大质量设备的精确定位和调节。六维调节搭载台在光学领域被广泛用于精密光学器件的高精度调节，以同步辐射或者X射线自由电子激光实验装置为例，为了实现微米级光斑与样品腔或者探测腔体的精确对准，需要对样品腔或者探测腔体进行微米级的高精度调节。为了提供真空环境，腔体主要为不锈钢材质，同时为了系统的稳定性，通常腔体安装于大理石之上。因此腔体系统的质量通常都是在几百公斤到几吨不等。但是目前还难以同时实现大负载和高精度调节。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明要解决的技术问题在于提供一种重载精密型多维位姿调控系统，能够对腔体系统沿X轴方向、沿Y轴方向、沿Z轴方向、绕X轴转动、绕Y轴转动以及绕Z轴转动进行精准调节。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种重载精密型多维位姿调控系统，包括：

搭载台，搭载台包括用于安装待对准的腔体系统的承载主体架，承载主体架的一侧设有第一被顶件和第二被顶件，承载主体架相对的另一侧设有第三被顶件；

第一负载调节装置，第一负载调节装置包括第一底座、设于第一底座的第一升降驱动机构、设于第一底座且传动连接于第一升降驱动机构的第一Z向升降台、设于第一Z向升降台上的第一Y向平移组件以及设于第一Y向平移组件上的第一X向平移组件，第一X向平移组件连接于第一被顶件；

第二负载调节装置，第二负载调节装置包括第二底座、设于第二底座的第二升降驱动机构、设于第二底座的第二Z向升降台、设于第二Z向升降台上的第二Y向平移组件、设于第二Y向平移组件上的第二X向平移组件以及驱动第二X向平移组件的第二X向驱动机构，第二X向平移组件连接于第二被顶件；

第三负载调节装置，第三负载调节装置包括第三底座、设于第三底座的第三升降驱动机构、设于第三底座的第三Z向升降台、设于第三Z向升降台上的第三X向平移组件、驱动第三X向平移组件的第三X向驱动机构、设于第三X向平移组件上的第三Y向平移组件以及驱动第三Y向平移组件的第三Y向驱动机构，第三Y向平移组件连接于第三被顶件。

优选地，所述重载精密型多维位姿调控系统还包括控制器，控制器分别通信连接于第一升降驱动机构、第二升降驱动机构、第二X向驱动机构、第三升降驱动机构、第三X向驱动机构以及第三Y向驱动机构；所述第一负载调节装置还包括通信连接于控制器的第一升降传感器，所述第二负载调节装置还包括均通信连接于控制器的第二升降传感器和第二X向传感器，所述第三负载调节装置还包括均通信连接于控制器的第三升降传感器、第三X向传感器以及第三Y向传感器。

优选地，所述重载精密型多维位姿调控系统还包括手调支撑脚，手调支撑脚包括悬挑设置于承载主体架的支脚架、设于支脚架的高度调节柱以及设于高度调节柱的活动支脚盘。

优选地，所述承载主体架上设有多个固定支柱，所有固定支柱被划分成两组，其中一组用于安装所述腔体系统的前置腔体，另一组用于安装所述腔体系统的后置腔体。

优选地，所述承载主体架的底部设有托持板，托持板用于承载所述腔体系统的腔体平台结构。