[发明专利]一种用于光腔的多级恒温系统

权利要求书

1.一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，包括壳体(26)、设置于壳体(26)内并用于调节光腔(1)温度的一级恒温子系统以及控制壳体(26)内部温度的二级恒温子系统；

所述的一级恒温子系统包括包覆于光腔(1)外的换热板、包覆于换热板外的绝热层(11)、设置于换热板与绝热层(11)之间的一级温度传感器以及调温水箱(17)；

所述的调温水箱(17)与换热板管道连接，将换热板中的换热流体引出至调温水箱(17)内换热后，重新输入换热板；

所述的调温水箱(17)外侧设置有一级半导体制冷片(21)、热管(18)和水箱散热结构(19)；所述的一级半导体制冷片(21)贴合调温水箱(17)侧壁，一级半导体制冷片(21)与调温水箱(17)换热；所述的热管(18)贴合一级半导体制冷片(21)和水冷散热结构(19)设置，将一级半导体制冷片(21)的热量传递至水冷散热结构(19)，所述的水箱散热结构(19)进行散热；

根据一级温度传感器的信号输出，调整一级半导体制冷片(21)和水箱散热结构(19)的功率以控制光腔(1)的温度；

所述的二级恒温子系统包括设置于绝热层(11)外侧表面的二级温度传感器以及分别设置于壳体(26)不同侧面上的吸气结构和排气结构。

2.根据权利要求1所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的换热板基于光腔(1)的进气孔(13)和出气孔(12)的位置设置为至少三段的多段结构，每一段换热板独立控温；所述的一级温度传感器对应于多段结构的换热板设置有至少三个，其中，进气孔(13)与出气孔(12)处分别设置至少一个一级温度传感器。

3.根据权利要求2所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的换热板内的流道为U形管结构。

4.根据权利要求2所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的一级温度传感器为RTD传感器，精度为0.01℃。

5.根据权利要求1所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的调温水箱(17)的壁面为双层结构，其中，外层为保温层且一侧壁面开设开口，所述的一级半导体制冷片(21)贴合设置于开口中。

6.根据权利要求1所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的调温水箱(17)内设置有若干隔板(23)，将调温水箱(17)的流体通道划分为若干段，使通过的流体形成湍流。

7.根据权利要求1所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的二级温度传感器基于光腔(1)的进气孔(13)和出气孔(12)的位置设置至少三个，其中，进气孔(13)与出气孔(12)处分别设置至少一个二级温度传感器；所述的二级温度传感器为RTD传感器，精度为0.1℃。

8.根据权利要求1所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的吸气结构包括吸气风扇，所述的排气结构包括排气风扇；吸气结构与排气结构分别设置于光腔(1)两侧，使光腔(1)位于吸气结构与排气结构之间的风道上。

9.根据权利要求8所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的排气结构还包括二级半导体制冷片和散热片(35)，所述的二级半导体制冷片的冷端贴合设置于排气风扇的出风面，所述的散热片(35)贴合于二级半导体制冷片的热端；所述的二级半导体制冷片表面涂抹导热剂，所述的二级半导体制冷片四周设置保温结构；

根据二级温度传感器的信号输出，调整二级半导体制冷片的功率以控制壳体(26)内部温度。

10.根据权利要求1所述的一种用于光腔的多级恒温系统，其特征在于，所述的壳体(26)的壁面还设有散热口，包括柱状散热口(36)和/或条状散热口(37)。