[发明专利]一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺在审
申请号: | 202310684672.8 | 申请日: | 2023-06-12 |
公开(公告)号: | CN116411338A | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 曹建伟;宋建军;欧阳鹏根;石刚 | 申请(专利权)人: | 内蒙古晶环电子材料有限公司;宁夏鑫晶盛电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 呼和浩特市盛联专利代理事务所(普通合伙) 15107 | 代理人: | 杨方 |
地址: | 010000 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生产 蓝宝石 工艺 | ||
1.一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,包括如下步骤:
向设备中充入惰性气体;
加热器工作,加热器功率升高至P1以融化原料,坩埚轴的水流量V1;
在坩埚内原料出现融化塌料后,加热器的功率升高到P2,坩埚轴的水流量升高到V2;
在坩埚内原料完全融化后进行排杂处理,加热器功率维持在P3,坩埚轴的水流量维持在V3;
在排杂处理之后,降低加热器功率并维持在P4以稳定设备内温度,且坩埚轴的水流量提高至V4,并且一段时间后,坩埚轴的水流量降低至V5;
其中,P1≤P2<P3,且P3>P4;V1≤V2≤V3<V4,且V4>V5,V5≤V2。
2.根据权利要求1所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,所述P1=40-60kw,P2=50-75kw,P3=55-85kw,P4=40-80kw。
3.根据权利要求2所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,所述P1=50±3kw,P2=60±3kw,P3=75±3kw,P4=60±10kw。
4.根据权利要求2所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,所述P1=45kw,P2=55kw,P3=65kw,P4=60kw。
5.根据权利要求1所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,所述V1=0-30L/min,V2=20-70L/min,V3=20-70L/min,V4=40-70L/min,V5=0-30L/min。
6.根据权利要求5所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,所述V1=20±5L/min,V2=40±5L/min,V3=40±5L/min,V4=55±5L/min,V5=20±5L/min。
7.根据权利要求1所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,在排杂处理中,加热器的功率随排杂时间而升高,或者加热器的功率按排杂时间分为至少两段,第一段时间的加热器功率<第二段时间的加热器功率。
8.根据权利要求7所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,排杂处理的时间在3-50h之间。
9.根据权利要求1所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,在加热器工作前,向设备中冲入惰性气体的流量为0-5L/min;在加热器工作后,向设备中冲入惰性气体的流量提高至10-20L/min;且在煮料工艺完成后,降低惰性气体的流量至0-10L/min。
10.根据权利要求9所述的一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,其特征在于,相比于融化原料阶段,在排杂处理阶段,惰性气体的流量提高。
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