[发明专利]复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法

权利要求书

1.一种复合钙钛矿靶材，其特征在于，包括：第一子靶材和第二子靶材，所述第一子靶材和第二子靶材均含有钙钛矿材料，且所述第一子靶材和所述第二子靶材中的所述钙钛矿材料不同；

所述复合钙钛矿靶材呈柱状，柱状的所述复合钙钛矿靶材的侧表面包括第一侧表面以及位于所述第一侧表面之外的第二侧表面，至少部分所述第一子靶材露出于所述第一侧表面，至少部分所述第二子靶材露出于所述第二侧表面。

2.根据权利要求1所述的复合钙钛矿靶材，其特征在于，所述第一子靶材的材料包括钒酸镧钙钛矿材料或铝酸镧钙钛矿材料，所述第二子靶材的材料包括钛酸锶钙钛矿材料。

3.根据权利要求1～2任一项所述的复合钙钛矿靶材，其特征在于，所述复合钙钛矿靶材由所述第一子靶材和所述第二子靶材组成；或，

所述复合钙钛矿靶材还包括柱状的芯材，所述第一子靶材和所述第二子靶材均附着于所述芯材的侧表面上。

4.一种制备如权利要求1～3任一项所述的复合钙钛矿靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供所述第一子靶材的粉末材料，将所述第一子靶材的粉末材料制备形成第一子靶材；

提供所述第二子靶材的粉末材料，将所述第二子靶材的粉末材料制备形成第二子靶材；

将所述第一子靶材与所述第二子靶材通过压合的方式进行结合。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，提供所述第一子靶材的粉末材料的步骤包括：

将金属钒和金属铝中的一种与金属镧混合，得到第一混合材料；

将所述第一混合材料置于球磨腔室中进行球磨处理；以及，

对所述第一混合材料进行氧化处理；

提供所述第二子靶材的粉末材料的步骤包括：

将碳酸锶和二氧化钛混合，得到第二混合材料；

将所述第二混合材料置于球磨腔室中进行球磨处理；以及，

对所述第二混合材料进行煅烧处理。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，对所述第一混合材料进行氧化处理的步骤包括：将所述第一混合材料在含有氧气的气体环境中加热至400℃～600℃；和/或，

对所述第二混合材料进行煅烧处理的步骤包括：将所述第二混合材料加热至900℃～1200℃。

7.根据权利要求4～6任一项所述的方法，其特征在于，将所述第一子靶材的粉末材料制备形成第一子靶材的步骤包括：

将所述第一子靶材的粉末材料通过热压的方式形成特定形状的所述第一子靶材；或者，将所述第一子靶材的粉末材料分散于第一分散剂中形成第一浆料，通过喷涂所述第一浆料并去除所述第一分散剂的方式，以制备所述第一子靶材；和/或，

将所述第二子靶材的粉末材料制备形成第二子靶材的步骤包括：

将所述第二子靶材的粉末材料通过热压的方式形成特定形状的所述第二子靶材；或者，将所述第二子靶材的粉末材料分散于第二分散剂中形成第二浆料，通过喷涂所述第二浆料并去除所述第二分散剂的方式，以制备所述第二子靶材。

8.一种制备如权利要求1～3任一项所述的复合钙钛矿靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供柱状的芯材；

在所述芯材的部分表面上溅射沉积所述第一子靶材的材料，制备所述第一子靶材；

在所述芯材的另一部分表面上溅射沉积所述第二子靶材的材料，制备所述第二子靶材。

9.根据权利要求8所述的复合钙钛矿靶材的方法，其特征在于，在沉积所述第一子靶材的材料以及沉积所述第二子靶材的材料之后，还包括如下步骤：对所述第一子靶材的材料和所述第二子靶材的材料进行退火处理。

10.一种钙钛矿太阳电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在第一电极上依次制备钙钛矿层和第二电极，其中制备所述钙钛矿层的步骤包括：

采用根据权利要求1～3任一项所述的复合钙钛矿靶材作为溅射靶材，旋转所述复合钙钛矿靶材，以依次轰击所述复合钙钛矿靶材中的所述第一子靶材和所述第二子靶材，并在所述第一电极上分别形成第一钙钛矿子层和第二钙钛矿子层。