[发明专利]一种多方位角下的三维溅射沉积收集装置

权利要求书

1.一种多方位角下的三维溅射沉积收集装置，包括真空仓，其特征在于，所述真空仓内设置有支撑底板(3)和射频离子推力器(1)，所述支撑底板(3)的顶部可拆卸安装有溅射沉积三维收集机构，所述支撑底板(3)的顶端设置有靶材(2)，所述靶材(2)设置于所述溅射沉积三维收集机构的内侧，所述射频离子推力器(1)设置于所述溅射沉积三维收集机构的上方，所述射频离子推力器(1)用于产生离子束，所述离子束用于轰击所述靶材(2)。

2.根据权利要求1所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，所述溅射沉积三维收集机构包括沿所述靶材(2)周向设置的若干个支撑座(4)，所述支撑座(4)可拆卸安装在所述支撑底板(3)上，且所述支撑座(4)位于所述靶材(2)的下方；任一所述支撑座(4)远离所述靶材(2)的一端顶部均固定连接有圆弧形支架(5)，所述圆弧形支架(5)上沿竖直方向可拆卸安装有若干个金属块(6)。

3.根据权利要求2所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，所述圆弧形支架(5)上沿竖直方向开设有若干个安装孔(7)，所述安装孔(7)靠近所述靶材(2)一侧的孔径小于所述安装孔(7)远离所述靶材(2)一侧的孔径，所述金属块(6)限位安装在所述安装孔(7)内，且所述金属块(6)靠近所述靶材(2)一侧端面的弧度与所述圆弧形支架(5)的弧度相同。

4.根据权利要求3所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，所述圆弧形支架(5)靠近所述靶材(2)一面上的所述金属块(6)所占面积不小于60％。

5.根据权利要求2所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，所述支撑座(4)远离所述圆弧形支架(5)的一端固定连接有U型夹子(8)，所述U型夹子(8)的顶面与所述支撑座(4)的顶面齐平，所述支撑座(4)通过所述U型夹子(8)与所述支撑底板(3)固定连接。

6.根据权利要求2所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，所述金属块(6)远离所述靶材(2)的一面固定连接有连接杆(9)，所述连接杆(9)上开设有夹取槽(10)。

7.根据权利要求2所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，同一所述圆弧形支架(5)上最上方的所述金属块(6)与最下方的所述金属块(6)所对应的圆心角不小于80°且不大于90°。

8.根据权利要求2所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，所述金属块(6)为铁块。

9.根据权利要求2所述的多方位角下的三维溅射沉积收集装置，其特征在于，所述圆弧形支架(5)由若干块圆弧片拼接而成，每块所述圆弧片上均开设有若干个用于所述金属块(6)安装的安装孔(7)。