[发明专利]组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法

说明书

本发明涉及一种组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法，组合舟包括：外舟体，设有具有开口的容纳空间；独立于外舟体设置的单舟，用于放置基片；单舟能够经开口移入容纳空间内或者经开口从容纳空间移出。当需要进行水平载片时，将硅片放入单舟，将单舟移入外舟体内；而当需要进行竖直载片时，对外舟体的结构做适应性调整，将硅片放入单舟并旋转90°后放入调整后的外舟体中即可。相对于现有技术中一体设置的载片舟，该组合舟采用分体设置的外舟体与单舟的方式，在水平载片与竖直载片之间切换时，在不改变处理设备其他结构的情况下，不需要改变单舟的结构，只需要调整外舟体的结构即可，便于实现水平载片与竖直载片之间的切换。

技术领域

本发明涉及半导体处理技术领域，特别是涉及一种组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法。

背景技术

随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，因此对光伏设备的要求越来越高。如在太阳能电池片的生产过程中，需要用到处理设备以对硅片进行处理。其中，原子层沉积ALD镀膜设备能够实现在硅片表面的镀膜，在太阳能电池片的生产过程中发挥着重要作用。

原子层沉积ALD镀膜设备包括载片舟，镀膜时，装片设备将硅片装载于载片舟上，而后硅片与载片舟一同进入处理设备的处理室中，向处理室中通入工艺气体，以在硅片上形成一层薄膜。

但是，由于处理室的大小限制，一种处理设备一般只能适配一种类型的载片舟，载片舟不便于实现水平载片与竖直载片之间的切换，即为，传统的载片舟不便于硅片竖直摆放与水平摆放的兼容。若要实现水平载片与竖直载片的切换，需要更换整个载片舟或者处理设备的其他结构。

发明内容

基于此，有必要针对传统的载片舟不便于水平载片与竖直载片之间的切换且容易出现绕镀现象的问题，提供一种能够实现水平载片与竖直载片之间切换且改善绕镀问题的组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法。

一种组合舟，所述组合舟包括：

外舟体，设有具有开口的容纳空间；

独立于所述外舟体设置的单舟，用于放置基片；

其中，所述单舟能够经所述开口移入所述容纳空间内或者经所述开口从所述容纳空间移出。

在其中一个实施例中，所述外舟体内具有多个所述容纳空间，所述单舟的数量为多个，每个所述容纳空间内能够容纳一个所述单舟。

在其中一个实施例中，所述外舟体内设有隔板以在第一方向上使得所述外舟体内形成多组容纳空间组，每组所述容纳空间组包括多个在第二方向上排布的所述容纳空间；所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一方向为所述外舟体的宽度方向，所述第二方向为所述外舟体的长度方向。

在其中一个实施例中，所述单舟包括第一安装板、第二安装板、固定柱及拨杆，所述第一安装板与所述第二安装板相互间隔且相对设置，所述固定柱固定连接所述第一安装板与所述第二安装板；所述拨杆与所述第一安装板及所述第二安装板均活动连接，以相对于所述第一安装板及所述第二安装板在第一位置与第二位置之间运动；当所述拨杆处于所述第一位置时，所述拨杆突出所述第一安装板；当所述拨杆处于所述第二位置时，所述拨杆突出所述第二安装板；

所述单舟经所述开口移入所述容纳空间到位后，所述拨杆能够从所述第一位置切换至所述第二位置。

在其中一个实施例中，所述拨杆处于所述第一位置时，所述拨杆上的卡槽与所述固定柱上的卡槽一一对齐；所述拨杆处于所述第二位置时，所述拨杆上的卡槽与所述固定柱上的卡槽错位；所述卡槽用于放置基片。

在其中一个实施例中，所述外舟体上设有第一配合部，所述单舟移入所述容纳空间到位时，所述第一配合部施加作用于所述拨杆，使得所述拨杆从所述第一位置运动至所述第二位置。

在其中一个实施例中，