[发明专利]工件加工用激光刻蚀机床

说明书

本发明提供了工件加工用激光刻蚀机床，属于工件刻蚀技术领域，包括：底座、激光源、连接罩、密闭罩和真空件。激光源安装在底座上。连接罩底端固定在底座上，且套设于激光源的外侧。密闭罩滑动设置在连接罩的外侧，密闭罩远离底座的端部用于抵靠在工件上；密闭罩靠近底座的端部用于与连接罩的顶端密闭连接，密闭罩内腔与连接罩内腔连通并用于与工件围设为刻蚀腔。真空件连通在密闭罩上且与刻蚀腔连通，真空件将刻蚀腔抽至真空。本发明提供的工件加工用激光刻蚀机床由于所需抽取的气体减少，因此相邻两个工件之间的加工等待时间缩短，最终加工成本降低，加工效率提高。

技术领域

本发明属于工件刻蚀技术领域，更具体地说，是涉及工件加工用激光刻蚀机床。

背景技术

现有的激光刻蚀过程是在一个真空室内进行，待加工工件需要通过进出料传送机构传送到真空室内的激光源上方待刻蚀位置，关闭活动密封门，开始抽真空，待真空室的真空度达到设定值后开始进行工作，等待真空室中正在刻蚀的工件刻蚀完成后，破真空到大气状态下打开活动密封门，通过进出料传送机构将刻蚀完毕的工件送出真空室，然后再重复以上操作，由于激光源对工件的刻蚀均需要在真空室内进行，这就需要在工件运送至真空室内时以及将工件从真空室内运出时均需要破真空，但是由于真空室内部体积较大，抽至真空需要较长的时间，并且需要耗费一定的能源，最终的结果是工件的加工效率较低，生产成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供工件加工用激光刻蚀机床，旨在解决需要反复抽真空，导致工件的加工效率较低，生产成本较高的问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供工件加工用激光刻蚀机床，包括：

底座；

激光源，安装在所述底座上；

连接罩，所述连接罩底端固定在所述底座上，且套设于所述激光源的外侧；

密闭罩，滑动设置在所述连接罩的外侧，所述密闭罩远离所述底座的端部用于抵靠在工件上；所述密闭罩靠近所述底座的端部用于与所述连接罩的顶端密闭连接，所述密闭罩内腔与所述连接罩内腔连通并用于与工件围设为刻蚀腔；

真空件，连通在所述密闭罩上且与所述刻蚀腔连通，所述真空件将所述刻蚀腔抽至真空。

在一种可能的实现方式中，所述底座与所述密闭罩之间连接有伸缩件，所述伸缩件用于使所述密闭罩密闭定位在所述连接罩与工件之间。

在一种可能的实现方式中，所述底座上设置有转盘，所述伸缩件连接在所述转盘与所述密闭罩之间，所述转盘通过所述伸缩件使所述密闭罩相对于所述连接罩转动，所述密闭罩与所述连接罩螺纹连接。

在一种可能的实现方式中，所述转盘的外沿设有蜗轮，所述底座上安装有与所述蜗轮传动配合的蜗杆。

在一种可能的实现方式中，所述底座的上方设有限位座，所述限位座上设有限位杆，所述限位杆与所述密闭罩配合用于定位工件。

在一种可能的实现方式中，所述限位杆的外沿设有吸附环，所述吸附环用于吸附工件。

在一种可能的实现方式中，所述限位杆转动设置在所述限位座上，所述转盘通过所述伸缩件和所述密闭罩用于带动工件转动，所述激光源用于在工件转动一定角度后再次进行刻蚀。

在一种可能的实现方式中，所述限位杆螺纹连接在所述限位座上。

在一种可能的实现方式中，所述限位座安装在输送轨上，所述输送轨通过所述吸附环用于转移工件。

在一种可能的实现方式中，沿所述密闭罩端部的外沿设置有密封垫，且所述密封垫自所述密闭罩的端部向外侧延展。