[发明专利]一种用于波片晶片的自动换面倒边加工机及加工方法

权利要求书

1.一种用于波片晶片的自动换面倒边加工机，用于待加工波片(24)的倒边加工，其特征在于：包括直线滑台模组和波片夹持总成，直线滑台模组包括滑台、滑轨(1)和导轨驱动电机(11)，波片夹持总成安装固定在直线滑台模组的滑台上；圆周倒边总成(3)、平边倒边总成(4)、卸载器总成(5)和装载器总成(6)沿滑轨(1)依次并排设置。

2.根据权利要求1所述的一种用于波片晶片的自动换面倒边加工机，其特征在于：

所述波片夹持总成包括倒边传动轴(22)，倒边传动轴(22)为中空，左端通过传动副与倒边夹持驱动电机(21)的输出轴传动连接，右侧设有外螺纹；倒边夹持器(23)左部的小外径部分插入倒边传动轴(22)右侧，且倒边夹持器(23)的左端通过气管、第一电磁换向阀与真空泵相连接；密封垫片(25)和倒边夹持器压盖(26)套在倒边夹持器(23)右部的大外径部分上，且倒边夹持器压盖(26)与和倒边传动轴(22)右侧之间为压盖螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于波片晶片的自动换面倒边加工机，其特征在于：

所述圆周倒边总成(3)包括第一手动十字丝杆滑台；圆周倒边驱动电机(31)设于第一手动十字丝杆滑台上，圆周倒边驱动电机(31)的输出轴与金刚石锥形圆周倒边砂轮(32)固定连接；第一手动十字丝杆滑台包括圆周倒边砂轮高度调整轮(33)和圆周倒边砂轮进刀调整轮(34)，用以调节金刚石锥形圆周倒边砂轮(32)在水平方向和垂直方向的位置；在金刚石锥形圆周倒边砂轮(32)上方，正对金刚石锥形圆周倒边砂轮(32)设有圆周倒边冷却液管(35)，在圆周倒边电机(31)的壳体上正对滑轨(1)设有圆周倒边光电传感器(36)；

所述平边倒边总成(4)包括平边倒边驱动电机(41)，平边倒边驱动电机(41)设于第二手动十字丝杆滑台上，平边倒边驱动电机(41)的输出轴与金刚石锥形平边倒边砂轮(42)固定连接；第二手动十字丝杆滑台包括平边倒边砂轮高度调整轮(43)和平边倒边砂轮进刀调整轮(44)，分别调节金刚石锥形平边倒边砂轮(42)在水平和垂直方向上的位置；金刚石锥形平边倒边砂轮(42)的上方设有平边倒边冷却液管(45)，平边倒边冷却液管(45)正对金刚石锥形平边倒边砂轮(42)，在平边倒边电机(41)的壳体上面对滑轨(1)设有平边倒边光电传感器(46)。

4.根据权利要求3所述的一种用于波片晶片的自动换面倒边加工机，其特征在于：

所述卸载器总成(5)包括波片卸载夹持器(51)，波片卸载夹持器(51)为管形，一端与气管密封连接后再通过第二电磁换向阀(52)与真空泵相连接；波片卸载夹持器(51)插入卸载器伸缩板(57)的安装孔中，通过第一锁紧螺钉(56)锁紧固定；卸载器伸缩板(57)与卸载双轴气缸(55)的活塞杆固定连接，卸载双轴气缸(55)设于卸载旋转气缸(54)上并由卸载旋转气缸(54)带着在水平面上旋转；

所述卸载器总成(6)包括波片装载夹持器(61)，波片装载夹持器(61)为管形，一端与气管密封连接后再通过第三电磁换向阀(62)与真空泵相连接；波片装载夹持器(61)插入装载器伸缩板(67)的安装孔中，通过第二锁紧螺钉(66)锁紧固定；装载器伸缩板(67)与装载双轴气缸(65)的活塞杆固定连接；装载双轴气缸(65)设于装载旋转气缸(64)上并由装载旋转气缸(64)带着在水平面上旋转；

所述卸载器伸缩板(57)上设有卸载光电传感器(53)，装载器伸缩板(67)上设有装载光电传感器(63)。

5.根据权利要求4所述的一种用于波片晶片的自动换面倒边加工机，其特征在于：

所述卸载旋转气缸(54)、卸载双轴气缸(55)、装载旋转气缸(64)和装载双轴气缸(65)分别通过电磁真空阀与真空泵相连接，且各个电磁真空阀均与可编程逻辑控制器(81)信号相连；

所述导轨驱动电机(11)、倒边夹持驱动电机(21)、第一电磁换向阀、圆周倒边驱动电机(31)、圆周倒边光电传感器(36)、平边倒边驱动电机(41)、平边倒边光电传感器(46)、第二电磁换向阀(52)、卸载光电传感器(53)、第三电磁换向阀(62)和装载光电传感器(63)均与可编程逻辑控制器(81)信号相连。