[发明专利]一种全自动半导体器件烧录机及其烧录系统

权利要求书

1.一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，包括：

芯片烧录平台，芯片真空吸嘴，下料运输编带，上料运输编带，角度调整机构和至少一个三向滑动机构；

其中，所述芯片真空吸嘴位于所述芯片烧录平台的上方，且所述三向滑动机构控制所述芯片真空吸嘴的空间位置，所述角度调整机构控制所述芯片真空吸嘴的转动角度；

所述芯片烧录平台上并列设置有至少2个烧录底座，所述烧录底座用于放置待编程的芯片，并录入预设程序；所述烧录底座上设有芯片压板和双向滑移机构，所述双向滑移机构控制所述芯片压板的活动位置，且所述芯片压板位于所述芯片真空吸嘴与所述芯片烧录平台之间；

所述下料运输编带和所述上料运输编带均固定在芯片烧录平台上，并与并列设置的所述烧录底座相邻，所述下料运输编带用于运输编程完成的芯片，所述上料运输编带用于运输待编程的芯片。

2.根据权利要求1所述的一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，所述三向滑动机构包括有横向直线模组、纵向推动组件和竖向升降组件，所述纵向推动组件固定在所述横向直线模组的滑动块上，所述竖向升降组件设置在所述纵向推动组件上，且所述芯片真空吸嘴和所述角度调整机构均固定在所述竖向升降组件上；所述横向直线模组的滑动方向与所述芯片烧录平台的表面平行，所述竖向升降组件的升降方向垂直于所述芯片烧录平台的表面，所述纵向推动组件的推动方向与所述横向直线模组的滑动方向垂直。

3.根据权利要求2所述的一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，所述横向直线模组与并列设置的所述烧录底座对齐，且所述烧录底座的并列设置方向与所述横向直线模组的滑动方向一致；所述芯片真空吸嘴的吸取方向对应所述上料运输编带的末端，所述下料运输编带的始端与所述上料运输编带的末端中心对称。

4.根据权利要求2所述的一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，所述竖向升降组件包括有竖直支板，所述竖直支板的一面与所述纵向推动组件的中间连接件固定连接，另一面设有吸嘴固定板件和竖向传动装置，所述芯片真空吸嘴设置在所述吸嘴固定板件上；所述竖向传动装置包括有转动齿轮和随动齿轮，所述转动齿轮通过第一皮带与所述随动齿轮传动连接，所述吸嘴固定板件固定在所述第一皮带上，且所述第一皮带的运动方向垂直于所述芯片烧录平台的表面。

5.根据权利要求4所述的一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，所述吸嘴固定板件包括有回弹拉簧和直角弯板，所述直角弯板的第一直板上设有弹簧扣件，所述回弹拉簧的一端与所述弹簧扣件固定连接，另一端与所述竖直支板固定连接，且所述第一直板与所述芯片烧录平台的表面垂直，并与所述竖直支板滑动连接；其中，所述直角弯板的第二直板上设有真空吸管，所述真空吸管的顶端用于与真空泵连通，且所述第二直板与所述第一皮带固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，所述角度调整机构包括有转动电机、调整齿轮和转动吸管，所述转动吸管设置在所述调整齿轮的内部，且所述调整齿轮的轴线与所述转动吸管的轴线重合；所述转动电机的转动轴通过第二皮带与所述调整齿轮传动连接，其中所述转动吸管的一端与所述真空吸管连通，并与所述真空吸管转动连接，所述转动吸管的另一端与所述芯片真空吸嘴连通。

7.根据权利要求4所述的一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，所述纵向推动组件还包括有固定底板和推动气缸，所述中间连接件与所述固定底板滑动连接，所述推动气缸的推动杆与所述中间连接件固定连接，所述推动气缸用于控制所述中间连接件的滑动距离，所述推动气缸的推动方向与所述横向直线模组的滑动方向垂直。

8.根据权利要求1所述的一种全自动半导体器件烧录机，其特征在于，当所述三向滑动机构的数量为2时，其中一个所述三向滑动机构位于靠近所述下料运输编带的一边，另一个所述三向滑动机构位于靠近所述上料运输编带的一边，且其中一个所述三向滑动机构用于夹持芯片进行上料，另外一个所述三向滑动机构用于夹持芯片进行下料。