[发明专利]一种波长锁定装置及其工作方法在审
申请号: | 202310808688.5 | 申请日: | 2023-07-04 |
公开(公告)号: | CN116544779A | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 裘利平;潘华东;刘新伟;莫亚娟;王金洲;王俊;闵大勇 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
主分类号: | H01S5/065 | 分类号: | H01S5/065 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 薛异荣 |
地址: | 215163 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波长 锁定 装置 及其 工作 方法 | ||
1.一种波长锁定装置,其特征在于,包括:
承载平台;
设置在所述承载平台上间隔的光模块上料组件、体光栅上料组件、第一相机单元、以及抓取和点胶组件;
所述光模块上料组件用于承载光模块,所述光模块包括:元件平台和位于元件平台上的半导体激光芯片;
所述体光栅上料组件包括:料盒支撑板;所述料盒支撑板上用于放置料盒,所述料盒中用于放置体光栅;
抓取和点胶组件,抓取和点胶组件包括:六轴运动单元,所述六轴运动单元包括XYZ三轴平移单元和旋转自由度调节单元;点胶单元;抓取单元;第三相机;所述XYZ三轴平移单元用于调节点胶单元的位置和第三相机的位置;所述六轴运动单元用于调节抓取单元的位置;所述第三相机用于移动在光模块的上方获取元件平台表面的点胶预设位置;
所述抓取单元用于从料盒中夹取体光栅,所述第一相机单元用于获取体光栅被抓取单元夹持时在初始位置区域的特征图像,所述旋转自由度调节单元用于根据特征图像调节体光栅在初始位置区域围绕X轴、Y轴和Z轴的旋转角度,X轴垂直于半导体激光芯片的出光面,Z轴垂直于元件平台的上表面,Y轴与X轴和Z轴均垂直;所述XYZ三轴平移单元还用于通过抓取单元驱动体光栅自初始位置区域移动至点胶预设位置;所述点胶单元用于将体光栅点胶固定在点胶预设位置。
2.根据权利要求1所述的波长锁定装置,其特征在于,料盒支撑板中具有第一槽;料盒适于位于所述第一槽中;所述体光栅上料组件还包括:立方分光棱镜,位于所述第一槽侧部的料盒支撑板的顶面;
所述第一相机单元包括第一相机和第二相机,第一相机位于料盒支撑板的侧部且位于第一槽背离立方分光棱镜的一侧,所述第一相机还用于获取点胶单元的位置信息;所述第二相机位于所述料盒支撑板背离所述光模块上料组件的一侧。
3.根据权利要求1所述的波长锁定装置,其特征在于,所述XYZ三轴平移单元包括:X轴坐标调节部件、Y轴坐标调节部件、Z轴坐标调节部件;所述旋转自由度调节单元包括X轴旋转自由度调节部件、Y轴旋转自由度调节部件和Z轴旋转自由度调节部件。
4.根据权利要求3所述的波长锁定装置,其特征在于,抓取和点胶组件还包括:固化灯,固化灯与Z轴旋转自由度调节部件固定,所述固化灯用于对点胶预设位置的胶进行固化。
5.根据权利要求1所述的波长锁定装置,其特征在于,所述点胶单元包括点胶气缸和设置在点胶气缸下方的点胶针管,所述点胶气缸用于驱动点胶针管上下运动。
6.根据权利要求1所述的波长锁定装置,其特征在于,所述光模块上料组件通过第一驱动滑台设置在承载平台上,第一驱动滑台用于驱动光模块上料组件沿平行于承载平台的上表面移动;
所述波长锁定装置还包括:上电探针组件,所述上电探针组件用于给所述半导体激光芯片加电。
7.根据权利要求1或6所述的波长锁定装置,其特征在于,还包括:积分球,设置在承载平台上;光纤;积分球的入光口通过光纤和元件平台上的体光栅的出光面连接;光谱仪,与积分球的出光口连接。
8.根据权利要求1所述的波长锁定装置,其特征在于,所述光模块上料组件包括:冷却载台和上载台,冷却载台中具有冷却件,上载台位于冷却载台上方;半导体制冷片,位于冷却件和上载台之间;温度传感器,与上载台连接;所述冷却载台通过第六连接件与第一驱动滑台连接;
所述元件平台用于设置在所述上载台上。
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