[发明专利]一种单晶炉拉晶防掉棒重锤

说明书

本发明涉及单晶炉拉晶设备技术领域，具体为一种单晶炉拉晶防掉棒重锤，包括拉晶装置、夹棒装置、单晶炉，拉晶装置包括钨丝、钨丝夹头、上夹头、重锤、引晶装置、弹簧一、移块一、下夹头，钨丝的底端贯穿上夹头与钨丝夹头连接，上夹头底端螺纹连接有重锤，重锤底端螺纹连接有下夹头，重锤底部内部设有引晶装置，引晶装置的底端贯穿下夹头，引晶装置的两侧设有移块一；夹棒装置包括滑盘、连接杆、底座、弹簧二、转杆、移块二、夹块，滑盘的两侧均与连接杆的一端连接，连接杆的另一端与底座连接，底座的侧边设有弹簧二，弹簧二的一端均与转杆连接，转杆的中部活动连接在底座一侧；本发明实现夹棒装置夹持晶棒功能，避免晶棒因细晶断裂而掉落。

技术领域

本发明涉及单晶炉拉晶设备领域，具体涉及一种单晶炉拉晶防掉棒重锤。

背景技术

单晶炉是采用直拉法生产单晶硅棒的主要设备，在利用直拉单晶炉制造晶棒的过程中通过籽晶生长单晶，拉制过程中籽晶被夹持在重锤上，重锤挂在钨丝下端，在拉升过程中重锤起稳定垂直的作用，晶棒则由籽晶及包括重锤在内的提拉装置带动一边旋转一边上升。拉晶过程中先利用籽晶引晶拉制一段细晶，引晶时籽晶和熔硅接触，因受到强烈的热冲击，不管籽晶有无位错，都要生成和增殖一定数量级的位错，后续需通过缩颈工艺排除籽晶中原生和新生位错，缩颈工艺通常需要将细晶处的直径控制在5mm。

随着晶棒的生长，晶棒的长度和重量不断增大，晶棒的重量由籽晶和细晶承担，存在籽晶或细晶断裂的安全隐患，晶棒一旦掉落会引起坩埚破裂、硅液溢流、热场损坏、电流短路，甚至会引发爆炸等事故。

发明内容

因此，本发明正是鉴于以上问题而做出的，本发明的目的在于通过拉晶装置、夹棒装置、单晶炉之间的配合，以解决晶棒因籽晶或细晶断裂而掉落的问题，本发明是通过以下技术方案实现上述目的：

一种单晶炉拉晶防掉棒重锤，包括拉晶装置、夹棒装置、单晶炉，所述拉晶装置包括钨丝、钨丝夹头、上夹头、重锤、引晶装置、弹簧一、移块一、下夹头，钨丝的底端贯穿上夹头与钨丝夹头连接，上夹头底端螺纹连接有重锤，重锤底端螺纹连接有下夹头，重锤底部内部设有引晶装置，引晶装置的底端贯穿下夹头，引晶装置的两侧设有移块一；所述夹棒装置包括滑盘、连接杆、底座、弹簧二、转杆、移块二、夹块，滑盘的两侧均与连接杆的一端连接，连接杆的另一端与底座连接，底座的侧边设有弹簧二，弹簧二的一端均与转杆连接，转杆的中部活动连接在底座一侧，转杆的底端设有移块二，移块二的底端设有夹块，且夹块滑动设置在底座内，拉晶装置位于两侧转杆之间。

优选的，所述重锤包括方槽、上周面、下周面、滑动轨道一、限位滑槽一，方槽位于重锤主体上端，钨丝夹头安装在方槽中，上周面位于方槽外围，上周面上设有螺纹，下周面位于重锤主体下端，下周面上设有螺纹，滑动轨道一位于下周面中部，滑动轨道一前后贯通，限位滑槽一位于滑动轨道一内部左右两侧，引晶装置安装在滑动轨道一中。

优选的，所述引晶装置包括籽晶夹头、斜面一、籽晶、细晶、抱夹头、晶棒，籽晶夹头位于引晶装置主体上端，斜面一位于籽晶夹头左右两面，籽晶位于籽晶夹头下方，细晶位于籽晶下方，抱夹头位于细晶下方，晶棒位于抱夹头下方。

优选的，所述籽晶上安装有弹簧一，弹簧一上端与籽晶夹头连接，弹簧一起到弹力支撑作用。

优选的，所述移块一包括半圆孔、滑块一、斜面二，半圆孔位于移块一主体一侧，半圆孔使得移块一不会阻碍到弹簧一，滑块一位于半圆孔左右两侧，滑块一与限位滑槽一配合滑动，斜面二位于半圆孔上方，斜面二与斜面一配合滑动。

优选的，下夹头包括圆孔二、圆环台、下夹头内壁面、滑动轨道二，圆孔二位于下夹头主体中部，圆孔二与籽晶配合，圆环台位于圆孔二上方，圆环台与弹簧一底端连接，圆环台限位弹簧一，下夹头内壁面位于圆环台外围，下夹头内壁面上设有螺纹，下夹头内壁面与下周面通过螺纹连接，滑动轨道二位于圆孔二左右两侧，移块一可从滑动轨道二处滑出。