[发明专利]一种新型磁悬浮复合分子泵

说明书

本发明涉及磁悬浮复合分子泵冷却设备技术领域，且公开了一种新型磁悬浮复合分子泵，包括磁悬浮分子泵主体和底座，所述底座设置在所述磁悬浮分子泵主体的底部，磁悬浮分子泵主体的外壁设置有冷却组件，该装置通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作，且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁，并在冷却板内通过导流孔输送冷却液，从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔，提高散热效果，且通过第二螺孔和第一安装孔等结构，便于调整进水管和出水管的角度位置，便于实际使用。

技术领域

本发明涉及磁悬浮复合分子泵冷却设备技术领域，具体而言，涉及一种新型磁悬浮复合分子泵。

背景技术

磁悬浮分子泵是利用无摩擦磁悬浮原理实现长期安全、可靠、节能的实验室和工业的稳定流量控制的一种全新的分子泵技术。它是一种分子泵，可以输送液体和气体；它将电机、变频器和线性滑动马达等相结合，实现压力、流量调节，建立完整的闭环控制系统，从而有效控制利稳定流量，磁悬浮分子泵是一种通过连续的高速运转以获取真空环境的重要设备。由于其工作状态为持续高速旋转，因此磁悬浮分子泵泵体上必设有水冷却系统。

申请号为202020865280.3公开了一种磁悬浮分子泵水冷却装置，其背景技术中提出的问题为；现有的水冷却系统通常为在泵体的底座上开槽将冷却水管安装其内并用整体式压环固定或者采用铸件形式的泵体底座将冷却水管铸在体内。这两种形式的冷却水管的进出水方向均已经固定，不能调整方向。这样就需要要求磁悬浮分子泵在使用场所下的水路安装方向了，这种情况下就需要考虑外供冷却水水管的干涉，给磁悬浮分子泵的安装和使用造成不便。另外，磁悬浮分子泵使用环境冷却系统所需的冷却水也未必都是纯净水，会存在高沉淀水或含有腐蚀的水质，分子泵在使用一段时间后，冷却系统中冷却水管就有腐蚀坏的情况，现场更换冷却水管就非常不方便，而将冷却水管铸在泵体内的分子泵是无法更换的，只能更换全新的分子泵，维护成本会很高，但是其存在以下问题；

其通过冷却管缠绕在磁悬浮分子泵的外壁，并通过压环固定冷却管，导致磁悬浮分子泵与冷却管内的冷却液之间的阻碍较多，影响冷却液的冷却效果，存在一定的不足，为解决上述问题，提出一种新型磁悬浮复合分子泵。

发明内容

本发明的目的在于一种新型磁悬浮复合分子泵，为了克服上述现有技术的不足，本发明通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作，且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁，并在冷却板内通过导流孔输送冷却液，从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔，提高散热效果。

本发明的上述目的是这样实现的：

一种新型磁悬浮复合分子泵，包括磁悬浮分子泵主体和底座，所述底座设置在所述磁悬浮分子泵主体的底部，底座的底部设置有安装组件，磁悬浮分子泵主体的正面设有排水管，排水管的排水端设置有辅助组件，磁悬浮分子泵主体的外壁设置有冷却组件；

所述冷却组件包括第一冷却板、第二冷却板、第一安装孔、第一螺孔、第二螺孔、进水管、出水管、第一固定板、第二固定板、安装槽、安装块、连接件和导流孔，安装块和安装槽均设有两个，两个安装块分别固定设在第一冷却板的两端，两个安装槽分别开设在第二冷却板的两端，两个安装块的侧壁分别与两个安装槽的内壁相适配，导流孔开设在安装块、第一冷却板和第二冷却板内。

进一步，所述导流孔呈螺旋形设计，所述进水管和出水管均固定设在第二冷却板的凸面处，且进水管和排水管均延伸至导流孔内。

进一步，所述第一冷却板和第二冷却板均呈弧形设计，且第一冷却板和第二冷却板均位于磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁，第一冷却板和第二冷却板相适配。