[发明专利]物理量传感器、电子设备和移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

在设彼此垂直的3个轴为X轴、Y轴和Z轴时，

所述物理量传感器包括：

传感器元件；

中继基板，在从沿着所述Z轴的Z轴方向平面观察时，所述中继基板与所述传感器元件重叠，

所述传感器元件包括：

振动片；和

电极图案，

所述振动片包括：

第1检测臂；

第2检测臂；和

驱动臂，

所述电极图案包括：

第1检测信号电极，其配置于所述第1检测臂；

第2检测信号电极，其配置于所述第2检测臂；

驱动信号电极，其配置于所述驱动臂；和

驱动信号布线，其与所述驱动信号电极电连接，在沿着所述X轴的X轴方向上延伸，

所述中继基板包括：

基板，其搭载有所述传感器元件；

第1检测信号布线，其配置于所述基板，与所述第1检测信号电极电连接；和

第2检测信号布线，其配置于所述基板，与所述第2检测信号电极电连接，

在所述平面观察时，所述第1检测信号布线以及所述第2检测信号布线在沿着所述Y轴的Y轴方向上延伸，并且所述第1检测信号布线以及所述第2检测信号布线与所述驱动信号布线交叉。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述振动片包括基部，

所述第1检测臂从所述基部起沿着所述Y轴方向延伸，

所述第2检测臂从所述基部起沿着所述Y轴方向延伸。

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述振动片包括对所述基部进行支承的第1支承部和第2支承部。

4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述平面观察时，所述第1支承部和所述第2支承部配置成中间隔着所述基部。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第1支承部和所述第2支承部被固定于所述基板。

6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，

所述电极图案包括：

第1检测信号端子，其配置于所述第1支承部，与所述第1检测信号电极电连接；和

第2检测信号端子，其配置于所述第2支承部，与所述第2检测信号电极电连接。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第1检测信号端子与所述第1检测信号布线电连接，

所述第2检测信号端子与所述第2检测信号布线电连接。

8.根据权利要求7所述的物理量传感器，其特征在于，

所述中继基板包括框状的第1部分，

在所述平面观察时，所述基板配置于所述框状的第1部分的内侧。

9.根据权利要求8所述的物理量传感器，其特征在于，

所述中继基板包括框状的第2部分，在所述平面观察时，所述框状的第2部分配置于所述框状的第1部分的内侧，

在所述平面观察时，所述基板配置于所述框状的第2部分的内侧。

10.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，

所述中继基板包括：

第1梁部，其将所述框状的第1部分与所述框状的第2部分连接起来；和

第2梁部，其将所述框状的第2部分与所述基板连接起来。

11.根据权利要求1～10中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器包括基座，

所述中继基板被支承于所述基座。

12.根据权利要求11所述的物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器包括搭载于所述基座的电路元件。