[发明专利]芯片、测试机台、芯片内部比较器的校准方法及相关设备在审
申请号: | 202310874988.3 | 申请日: | 2023-07-17 |
公开(公告)号: | CN116613084A | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
发明(设计)人: | 文浩飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市思远半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/317 |
代理公司: | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人: | 刘伟 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 测试 机台 内部 比较 校准 方法 相关 设备 | ||
本发明适用于芯片工艺技术领域,尤其涉及一种芯片、测试机台、芯片内部比较器的校准方法及相关设备。本发明提出了一种基于芯片内部电路实现的比较器校准方法以及对应的芯片及测试机台,本发明的校准方法中测试机台与芯片通信的内容少、通信时间短,并且,基于顺序遍历的逻辑实现的校准方案不仅能够减少芯片内部电路的开发负担,还能够提高校准准确度、缩短校准时间。
技术领域
本发明适用于芯片工艺技术领域,尤其涉及一种芯片、测试机台、芯片内部比较器的校准方法及相关设备。
背景技术
由于晶圆制造时,尺寸、掺杂浓度等的偏差,芯片等集成电路(IntegratedCircuit Chip,IC)被制造出来后,内部的差分对管可能存在一定的失配,导致比较器出现一定的偏差(offset)。在部分高精度要求的芯片中,为使产品的参数性能达到预期且具备良好的一致性,在出货前需要进行比较器的校准。校准的原理是加入一个可以人为调节的阈值偏差,通过这个阈值偏差抵消制造中产生的实际偏差。
相关技术一般是在芯片内部将比较器的两个输入脚短起来,然后在外部测试机台以一定逻辑来操作芯片的寄存器来调整阈值偏差,再依据比较器输出的翻转情况来确定是否校准完成,如图1所示。
基于图1的校准环境,相关技术通常使用以下两种方式进行比较器校准:
一、从外部测试机台操作芯片寄存器的逻辑是遍历,通过操作寄存器的值,使其从全0遍历到全1(或从全1遍历到全0),并每次确定比较器输出,当比较器输出翻转后中止遍历。
二、述机台操作IC寄存器的逻辑是“二分法”,机台根据比较器输出的翻转情况,决定寄存器每个bit是0还是1。这个做法大大缩短了测试时间,寄存器有几个bit就调整几次寄存器。
然而,上述方法具有以下问题:
对于方式一,由于芯片夹具和机台之间有很长的软排线连接,容易被干扰,所以通信速率不会很高,并且遍历操作有大量的修改寄存器的通信过程,5bit寄存器最差情况需要32次修改寄存器的通信,平均情况也需要16次通信,寄存器每增加1bit,通信时间都会成倍增长,此外,IO端口也是通过很长路径连接到机台的,为了保证结果准确,相关技术需要加入一段防抖(debounce)时间,单次防抖时间固定,总防抖时间和寄存器调整次数成正比,因此寄存器每增加1bit,总防抖时间也会成倍增长;
对于方式二,由于芯片的比较器往往有一定滞回的特性,在二分法中是依靠比较器来回翻转来确定每个寄存器bit的值的,这就导致最后得出的值未必是期望的比较器刚刚翻转的阈值,因此造成了偏差,在一些滞回做得比较大的比较器上,这个偏差甚至可以高达有十多个step。
因此,有必要提出一种新的芯片比较器的校准系统和方法来解决上述问题。
发明内容
本发明提供一种芯片、测试机台、芯片内部比较器的校准方法及相关设备,旨在解决现有技术对于芯片内部比较器校准的方法受限于排线连接及二分遍历逻辑导致的等待时间长、通信时间长的技术问题。
第一方面,本发明实施例提供一种芯片,可由一个测试机台进行比较器校准,所述芯片包括比较模块、开关模块、控制模块,所述比较模块包括待校准的比较器,所述比较模块的输入端连接所述开关模块,所述比较模块的输出端连接所述控制模块,其中:
所述开关模块用于获取校准开始信号,并根据所述校准开始信号将所述比较器的输入端进行短路连接,以及根据校准完成信号将比较器的输入端进行开路连接;其中,所述校准开始信号为所述测试机台发出,所述校准完成信号由所述控制模块在所述比较器的输出发生翻转时产生;
所述控制模块用于将芯片的寄存器值进行遍历输出至所述比较器,并判断所述寄存器值是否使所述比较器的输出发生翻转:若是,则释放所述校准完成信号至所述开关模块和所述测试机台,并保存使所述比较器的输出发生翻转的所述寄存器值,以完成所述比较器的校准;若否,则持续进行所述寄存器值的遍历输出;
所述比较模块用于根据所述寄存器值调整所述比较器的偏差值。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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