[发明专利]压电驱动器及可双向切变的高精度长行程压电直线电机

权利要求书

1.一种压电驱动器，其特征在于，包括压电陶瓷、用于将所述压电陶瓷的变形位移进行放大并换向的杠杆桥式放大机构以及设置在所述杠杆桥式放大机构上用于实现位移驱动的切变机构，其中，

所述切变机构包括上横梁、下横梁以及设置在所述上横梁与所述下横梁之间的多个柔性机构，多个柔性机构沿着横向方向排列，所述柔性机构的上端与所述上横梁连接，所述柔性机构的下端与所述下横梁连接，所述上横梁与所述杠杆桥式放大机构连接。

2.根据权利要求1所述的一种压电驱动器，其特征在于，所述杠杆桥式放大机构包括固定机构、设置在所述固定机构两端的放大杠杆以及桥式放大结构；其中，所述放大杠杆的上端与所述固定机构的端部活动连接；所述桥式放大结构的一端与其中一个放大杠杆的下端连接，所述桥式放大结构的另一端与另一个放大杠杆的下端连接；所述压电陶瓷位于所述固定机构与所述桥式放大结构之间，所述压电陶瓷的一端与其中一个放大杠杆连接，所述压电陶瓷的另一端与所述另一个放大杠杆连接。

3.根据权利要求1所述的一种压电驱动器，其特征在于，所述柔性机构包括竖向设置的竖向梁以及倾斜设置的倾斜梁；其中，所述竖向梁的上端与所述上横梁固定连接；所述倾斜梁的上下两端均通过第一柔性铰链分别与竖向梁的下端以及下横梁连接。

4.根据权利要求2所述的一种压电驱动器，其特征在于，每个所述放大杠杆包括杠杆、连接块设置在所述杠杆与连接块之间的第二柔性铰链，所述第二柔性铰链的一端与所述连接块连接，所述第二柔性铰链的另一端与所述杠杆连接；所述压电陶瓷连接在两个所述连接块之间。

5.根据权利要求4所述的一种压电驱动器，其特征在于，所述固定机构包括固定横梁以及设置在所述固定横梁两端的第三柔性铰链，两个所述第三柔性铰链分别与两个所述杠杆的上端连接。

6.根据权利要求4所述的一种压电驱动器，其特征在于，所述桥式放大结构为桥式放大杆；所述桥式放大杆与两个所述杠杆成一体设置，所述桥式放大杆的中部向上凸出。

7.根据权利要求6所述的一种压电驱动器，其特征在于，所述桥式放大杆的中部与所述上横梁的中部通过竖向块固定连接。

8.一种可双向切变的高精度长行程压电直线电机，其特征在于，包括横向设置的驱动杆以及至少一组用于驱动所述驱动杆进行横向移动的压电驱动机构，每组所述压电驱动机构包括多个沿着横向方向排列如权利要求1-7任一项所述的压电驱动器，每组所述压电驱动机构中，至少有一个所述压电驱动器为正向设置，其余所述压电驱动器为反向设置。

9.根据权利要求8所述的一种可双向切变的高精度长行程压电直线电机，其特征在于，所述压电驱动机构还包括“n”字型架；多个所述压电驱动器安装在所述“n”字型架上。

10.根据权利要求8所述的一种可双向切变的高精度长行程压电直线电机，其特征在于，所述压电驱动机构为两组，两组所述压电驱动机构对称设置在所述驱动杆的上下两侧。