[发明专利]一种阵列光波导及近眼显示设备

权利要求书

1.一种阵列光波导，设置有耦入端和耦出端，光线从所述耦入端进入所述阵列光波导，并从所述耦出端射出，其特征在于，包括：

多片波导基片，多片所述波导基片沿同一方向阵列设置；

第一分光膜和第二分光膜，所述第一分光膜设置于靠近所述耦入端的相邻两片所述波导基片之间，所述第二分光膜设置于远离所述耦入端的相邻两片所述波导基片之间，所述第二分光膜的反射率大于所述第一分光膜的反射率；

每片所述第一分光膜的膜系结构分别各自独立为：(ML)^P₁ (HL)^P₂，每片所述第二分光膜的膜系结构分别各自独立为：(MLHL)^P₃ (HLML)^P₄ (HL)^P₅，其中，L为低折射率材料，M为中折射率材料，H为高折射率材料，P₁、P₂、P₃、P₄、P₅为单元重复次数。

2.根据权利要求1所述阵列光波导，其特征在于，所述波导基片为玻璃，所述低折射率材料的折射率为n₁，1.42≤n₁≤1.48，所述中折射率材料的折射率为n₂，1.9≤n₂≤2.1，所述高折射率材料的折射率为n₃，2.4≤n₃≤2.6。

3.根据权利要求2所述的阵列光波导，其特征在于，所述高折射率材料为五氧化三钛，所述中折射率材料为钛酸镧，所述低折射率材料为二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的阵列光波导，其特征在于，所述波导基片底面与分光膜的夹角为α，23°≤α≤25°。

5.根据权利要求1所述的阵列光波导，其特征在于，所述波导基片设置有5片，5片所述波导基片之间设置有2片所述第一分光膜和2片所述第二分光膜，所述第一分光膜靠近所述耦入端设置，所述第二分光膜远离所述耦入端设置。

6.根据权利要求1所述的阵列光波导，其特征在于，所述第一分光膜设置有12层材料层，所述第二分光膜设置有20层材料层，所述材料层为所述高折射率材料形成的膜层、所述中折射率材料形成的膜层或所述低折射率材料形成的膜层。

7.根据权利要求6所述的阵列光波导，其特征在于，所述第一分光膜的厚度为d₁，所述第二分光膜的厚度为d₂，其中，0μm＜d₁≤1.2μm，0μm＜d₂≤1.2μm。

8.根据权利要求7所述的阵列光波导，其特征在于，按照光线入射方向的顺序，所述第一分光膜各材料层的厚度为：14.23nm、80.13nm、27.98nm、89.8nm、45.9nm、90.6nm、14.6nm、30.7nm、10nm、66.9nm、17nm、44nm。

9.根据权利要求7所述的阵列光波导，其特征在于，按照光线入射方向的顺序，所述第二分光膜各材料层的厚度为：23.17nm、128.9nm、14.58nm、109.6nm、23.9nm、58.9nm、13.7nm、89.9nm、23.1nm、45.6nm、33.1nm、110.8nm、45.1nm、66.8nm、8nm、10nm、18nm、89.6nm、12.4nm、34.7nm。

10.一种近眼显示设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的阵列光波导。