[发明专利]一种测量偏摆角的系统和方法

权利要求书

1.一种测量偏摆角的系统，其特征在于，包括：

激光发射接收分析单元，

待测反射镜，

参考反射镜，所述参考反射镜设置在待测反射镜的一侧且与待测反射镜之间留有一定间隙，所述参考反射镜与待测反射镜平行设置，

外反射镜，所述外反射镜设置在参考反射镜的一侧，且外反射镜与激光发射接收分析单元发出的用于入射到待测反射镜的光线垂直，所述外反射镜用于将参考反射镜反射的光线进行反射。

2.根据权利要求1所述的测量偏摆角的系统，其特征在于，所述待测反射镜与水平面的夹角为45度角。

3.根据权利要求1所述的测量偏摆角的系统，其特征在于，所述激光发射接收分析单元发出的用于入射到待测反射镜的光线为水平光线，所述外反射镜与水平面垂直设置。

4.根据权利要求1所述的测量偏摆角的系统，其特征在于，所述激光发射接收分析单元包括激光器、光线调整装置、半透半反镜和PSD传感器，所述光线调整装置位于激光器和半透半反镜之间，所述激光器发出的光线经过光线调整装置和半透半反镜后入射至所述待测反射镜，

所述半透半反镜还位于待测反射镜和PSD传感器之间，由待测反射镜发出的光线经半透半反镜后进入PSD传感器。

5.根据权利要求4所述的测量偏摆角的系统，其特征在于，所述光线调整装置包括光学衰减片和可调光阑，所述光学衰减片位于可调光阑和激光器之间。

6.一种测量偏摆角的方法，其特征在于，包括权利要求1所述的测量偏摆角的系统，激光发射接收分析单元产生的光线在待测反射镜和参考反射镜间多次反射后射向外反射镜，光线再经外反射镜反射后，进入待测反射镜和参考反射镜间并经多次反射后射出并被激光发射接收分析单元接收。

7.根据权利要求6所述的测量偏摆角的方法，其特征在于，所述激光发射接收分析单元包括激光器、光线调整装置、半透半反镜和PSD传感器，所述光线调整装置位于激光器和半透半反镜之间，所述激光器发出的光线经过光线调整装置和半透半反镜后入射至所述待测反射镜，

所述半透半反镜还位于待测反射镜和PSD传感器之间，由待测反射镜发出的光线经半透半反镜后进入PSD传感器。