[实用新型]一种用于半导体检测的弹性支撑件

权利要求书

1.一种用于半导体检测的弹性支撑件，其特征在于，包括：

底板(1)；

四个导杆(2)，四个导杆(2)均固定于所述底板(1)的顶部，四个导杆(2)的外表面之间从上至下依次滑动连接有滑动板(3)和活动板(4)；

弹性组件(5)，所述弹性组件(5)可拆卸式安装于所述滑动板(3)和活动板(4)之间；

用于对滑动板(3)高度调节的调节组件(6)，所述调节组件(6)设置于所述活动板(4)和底板(1)之间；

所述滑动板(3)的内部固定连接有四个阻尼套(7)，四个阻尼套(7)分别套设于四个导杆(2)的外表面；

安装座(8)，所述安装座(8)固定于所述滑动板(3)的顶部。

2.根据权利要求1所述的用于半导体检测的弹性支撑件，其特征在于，所述弹性组件(5)包括两个连接板(51)，两个所述连接板(51)之间固定连接有至少四个弹簧(52)。

3.根据权利要求1所述的用于半导体检测的弹性支撑件，其特征在于，所述滑动板(3)和活动板(4)相对的一侧均开设有用于连接板(51)插入的凹槽，所述滑动板(3)和活动板(4)正面的两侧和背面的两侧均转动连接有限位块(53)，四个限位块(53)的另一端通过紧固螺栓与两个连接板(51)可拆卸式固定。

4.根据权利要求1所述的用于半导体检测的弹性支撑件，其特征在于，所述安装座(8)的顶部开设有内嵌槽(9)，且内嵌槽(9)的内部开设有安装孔。

5.根据权利要求1所述的用于半导体检测的弹性支撑件，其特征在于，所述调节组件(6)包括铰接于活动板(4)和底板(1)之间的两个调节板(61)，两个调节板(61)的内部均转动连接有螺纹块(62)，两个所述螺纹块(62)的内部之间螺纹连接有双向丝杆(63)。

6.根据权利要求5所述的用于半导体检测的弹性支撑件，其特征在于，所述双向丝杆(63)的两端均固定连接有内六角螺母，且两个调节板(61)的内部均开设有活动槽，且两个螺纹块(62)转动连接于两个活动槽的内部。

7.根据权利要求5所述的用于半导体检测的弹性支撑件，其特征在于，两个调节板(61)的顶部均转动连接有U型框(64)，两个U型框(64)均滑动连接于活动板(4)的底部。