[实用新型]通用型取样机构及真空处理系统

权利要求书

1.一种真空取样机构，其特征在于，包括：

细长真空腔；

取样组件，设置在所述细长真空腔外，所述取样组件包括第一取样爪和与所述第一取样爪相配合的第二取样爪，所述第一取样爪和所述第二取样爪能够张开或闭合以进行取样；以及

取样驱动轴，所述取样驱动轴的近端设置在所述细长真空腔内，并且所述取样驱动轴的远端与所述取样组件连接，用于驱动所述第一取样爪和所述第二取样爪张开或闭合。

2.根据权利要求1所述的真空取样机构，其特征在于，所述取样组件还包括：

基托；

第一滑动组件，所述第一滑动组件包括：

第一滑座，设置在所述基托上；以及

第一滑条，与所述第一滑座滑动连接，并且与所述第一取样爪固定连接；以及

第二滑动组件，所述第二滑动组件包括：

第二滑座，设置在所述基托上；以及

第二滑条，与所述第二滑座滑动连接，并且与所述第二取样爪固定连接。

3.根据权利要求2所述的真空取样机构，其特征在于，

所述第一滑座包括第一滑槽以及设置在所述第一滑槽的至少一个内壁上的多个第一滚子，所述第一滑条设置在所述第一滑槽中并且与所述多个第一滚子滚动连接；以及

所述第二滑座包括第二滑槽以及设置在所述第二滑槽的至少一个内壁上的多个第二滚子，所述第二滑条设置在所述第二滑槽中并且与所述多个第二滚子滚动连接。

4.根据权利要求3所述的真空取样机构，其特征在于，

所述第一滚子或所述第二滚子包括滚珠或滚轮；和/或

所述第一滑槽或所述第二滑槽包括设置有多个第一滚子或多个第二滚子的四个内壁。

5.根据权利要求2所述的真空取样机构，其特征在于，

所述第一滑条包括第一齿条；

所述第二滑条包括第二齿条，所述第一齿条和所述第二齿条相对设置；以及

所述取样驱动轴还包括设置在远端的齿轮，所述齿轮与所述第一齿条和所述第二齿条啮合，用于驱动所述第一齿条和所述第二齿条向相反方向运动，带动所述第一滑条和所述第二滑条向相反方向运动，以驱动所述第一取样爪和所述第二取样爪张开或闭合。

6.根据权利要求1所述的真空取样机构，其特征在于，

所述第一取样爪包括至少一个第一取样指，所述第一取样指上设置有用于与样品托的第一定位结构配合的第一卡合结构；和/或

所述第二取样爪包括至少一个第二取样指，所述第二取样指上设置有用于与样品托的第二定位结构配合的第二卡合结构。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的真空取样机构，其特征在于，还包括：

取样驱动组件，与所述取样驱动轴耦合，用于驱动所述取样驱动轴旋转，以用于驱动所述第一取样爪和所述第二取样爪张开或闭合；

翻转驱动轴，所述翻转驱动轴的近端设置在所述细长真空腔内，并且所述翻转驱动轴的远端与所述取样机构连接；以及

翻转驱动组件，与所述翻转驱动轴耦合，用于驱动所述翻转驱动轴旋转，以带动所述取样机构翻转。

8.根据权利要求7所述的真空取样机构，其特征在于，

所述翻转驱动轴套设在所述取样驱动轴外，并且所述取样驱动组件和所述翻转驱动组件协同驱动所述取样组件，使得所述取样组件在翻转时，保持张开或闭合。