[实用新型]一种直拉单晶硅的热场装置

说明书

本实用新型公开了直拉单晶硅制备装置领域的一种直拉单晶硅的热场装置，包括碳碳材料保温桶内层、新型耐高温隔热保温填充料和碳碳材料保温桶外层，碳碳材料保温桶内层与碳碳材料保温桶外层为一体式铸造的一个圆筒状保温桶，保温桶位于碳碳材料保温桶内层与碳碳材料保温桶外层之间开设有空腔夹层，新型耐高温隔热保温填充料设置于空腔夹层中。本装置，新型耐高温隔热保温填充料的导热系数是石墨碳毡的十分之一，取代或部分取代石墨碳毡可以达到降低直拉单晶硅功率、减少石墨碳毡消耗、提高晶体品质的目的。

技术领域

本实用新型涉及直拉单晶硅制备装置领域，具体是一种直拉单晶硅的热场装置。

背景技术

单晶炉内的稳场因存在温度梯度而产生热流，热量从炉腔流向并耗散于周围的环境中，单位时间内耗散于环境中的热量称为热损耗，热损耗分为传导，对流损耗以及辐射损耗，当炉腔内单位时间产生的热量等于热损耗从而使炉温保持不变，称之为稳态热场，增强保温性能一方面可以减少热传导，降低炉腔内径向温度，增强热稳定性以及降低能量损耗，节约能源，另一方面提高晶体生长稳定性，降低氧含量提高晶体品质，并促进生产效率。现有的技术中，目前行业内增强保温性能使用的是增加石墨碳毡的包裹层数，但清炉时包裹在内层的石墨碳毡因未完全冷却暴露在空气会氧化，从而导致影响了保温桶的保温性能，进而对石墨碳毡的使用寿命造成影响，降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直拉单晶硅的热场装置，以解决上述提出现有的技术中，目前行业内增强保温性能使用的是增加石墨碳毡的包裹层数，但清炉时包裹在内层的石墨碳毡因未完全冷却暴露在空气会氧化，从而导致影响了保温桶的保温性能，进而对石墨碳毡的使用寿命造成影响，降低了生产效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种直拉单晶硅的热场装置，包括碳碳材料保温桶内层、新型耐高温隔热保温填充料和碳碳材料保温桶外层，所述碳碳材料保温桶内层与碳碳材料保温桶外层为一体式铸造的一个圆筒状保温桶，所述保温桶位于碳碳材料保温桶内层与碳碳材料保温桶外层之间开设有空腔夹层，所述新型耐高温隔热保温填充料设置于空腔夹层中，所述新型耐高温隔热保温填充料是以特制的硅酸盐无机溶液作为涂料成膜物，填料选用纳米空心陶瓷微珠，硅酸铝纤维和热反射节能材料作为固体材料。

作为本实用新型进一步的方案：所述保温桶顶部相互远离的两端与空腔夹层相匹配的位置均开设有注入端口，通过注入端口的设置，往双层保温桶的空腔夹层内注入填充新型耐高温隔热保温填充料，待填充料完全固化。

作为本实用新型再进一步的方案：所述保温桶的内部贯穿开设有内腔。

作为本实用新型再进一步的方案：所述保温桶还包括普通石墨碳毡一、普通石墨碳毡二、普通石墨碳毡三、普通石墨碳毡四、普通石墨碳毡五、普通石墨碳毡六、普通石墨碳毡七、普通石墨碳毡八、普通石墨碳毡九、普通石墨碳毡十，所述普通石墨碳毡一、普通石墨碳毡二、普通石墨碳毡三、普通石墨碳毡四、普通石墨碳毡五、普通石墨碳毡六、普通石墨碳毡七、普通石墨碳毡八、普通石墨碳毡九、普通石墨碳毡十依次设置于碳碳材料保温桶外层的外壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：