[实用新型]一种降低摩擦力防倾斜的T-Tray移动装置

说明书

本实用新型公开了一种降低摩擦力防倾斜的T‑Tray移动装置，属于导轨副结构技术领域。本实用新型包括主体、滚动件以及盖板，主体的两端开设有用于安装滚动件的空腔以及供导轨穿入的通孔，滚动件安装在主体内部并通过盖板密封，盖板通过紧固件固定在主体上。滚动件包括轴承与滚轮，滚轮套接在轴承上。本实用新型通过滚轮与轴承设计有效降低与导轨的摩擦系数且其动摩擦与静摩擦系数相差甚微，运动平稳，低速移动时不易出现爬行现象；将多个滚轮包裹导轨，实现定位精度高，抗震性能强，不易倾斜；并采用空腔、油封、加油孔设计，有效润滑滚轮、轴承与导轨，提高使用寿命，易维护保养，可满足半导体加工设备中T‑Tray移动所需要的抗震性、精度、生产维护成本低。

技术领域

本实用新型属于导轨副结构技术领域，尤其涉及一种降低摩擦力防倾斜的T-Tray移动装置。

背景技术

现有T-Tray加工设备上通常采用滑动导轨副、滚动导轨副、静压导轨副来移动T-Tray，滑动导轨副如图1所示，主要依靠导轨副之间的贴合摩擦滑动，滑动导轨静摩擦系数大，而且动摩擦系数随速度变化而变化，摩擦损失大；而静压导轨结构杂乱，要有供油体系，结构昂贵；目前的滚动导轨内部主要由滚珠构成，如图2所示，抗震性较差，对防护要求较高，不太符合T-Tray加工要求。而中国实用新型专利2022202495653公开了一种高刚性防摆动导轨副，如图3所示，其包括导轨、滑块、滚柱、滚珠、滚柱保持器、滚珠保持器、端盖及刮尘片，整体结构依旧复杂，生产成本高。为此，提供一种降低摩擦力防倾斜抗震的T-Tray移动装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种降低摩擦力防倾斜的T-Tray移动装置，旨在解决所述背景技术中现有导轨摩擦系数大、结构复杂、抗震性较差不符合T-Tray加工的问题。为实现所述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种降低摩擦力防倾斜的T-Tray移动装置，包括主体、滚动件以及盖板，主体的两端开设有用于安装滚动件的空腔以及供导轨穿入的通孔，滚动件安装在主体内部并通过盖板密封，盖板通过紧固件固定在主体上。滚动件包括轴承与滚轮，滚轮套接在轴承上。本实用新型安装在两条导轨上，采用滚轮包裹导轨，使得本实用新型以及安装在本实用新型上的T-Tray不会产生上下、左右跳动，有效防止倾斜，抗震动能力强，并且采用滚轮加轴承的方式，摩擦系数小。

对前述方案的进一步描述，主体的中部开设有用于安装T-Tray的通孔。

更优的是，主体上通孔两端均设有油封，将主体的空腔内的油密封，同时有效润滑导轨，降低耗油量。

对前述方案的进一步描述，主体的两端对称，每端均设有4个滚轮及相应的轴承，两个滚轮相互配合夹住导轨，提高主体的安装精密度，同时提高防震性和防倾斜。

更优的是，为了方便润滑，滚轮垂直安装，轴承安装在滚轮的上下端。

进一步的，为了提高寿命以及抵抗压力，滚轮上端的轴承采用单列圆锥滚子轴承，且单列圆锥滚子轴承的滚子小端在下大端在上，有效抵抗载荷。

对前述方案的进一步描述，盖板对应滚轮处开设有供加润滑油或润滑脂的加油孔。

更优的，为了防止漏油以及加强主板与盖板之间的密合性，在盖板与主体之间设计垫片。

更优的，为了适应市面上导轨类型，主体的通孔以及两个滚动轮之间形成的通孔形状包括圆形、方形、梯形、燕尾形。

与现有技术相比，本实用新型通过滚轮与轴承设计有效降低与导轨的摩擦系数且其动摩擦与静摩擦系数相差甚微，运动平稳，低速移动时不易出现爬行现象；将多个滚轮包裹导轨，定位精度高，抗震性能强，不易倾斜；并采用空腔、油封、加油孔设计，有效润滑滚轮、轴承与导轨，提高使用寿命，易维护保养。本实用新型满足半导体加工设备中T-Tray移动所需要的抗震性、精度，整体结构简单，生产成本低。

附图说明

图1为现有技术的滑动导轨示意图；