[实用新型]一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置，其特征在于，包括：

机架，所述机架顶部固定连接导轨，所述机架还包括：

载台，所述载台固定在所述机架内壁的右侧，所述载台可上下运动，所述载台用于放置晶片；

驱动装置，所述驱动装置固定在机架中，所述驱动装置还包括：

刷辊，所述刷辊有若干组，所述刷辊还包括毛刷辊及海绵刷辊，所述毛刷辊和所述海绵刷辊相互平行且间隔设置，所述毛刷辊和所述海绵刷辊沿相反的方向转动；

支架，所述支架固定设置在所述刷辊的下方垂直方向；

轴承，所述轴承设置在所述刷辊的两端，所述轴承通过电机控制与所述刷辊同步转动；

喷淋装置，所述喷淋装置设置在所述刷辊的正上方；

机械手，所述机械手固定连接在导轨上，所述机械手末端设置吸盘，所述机械手用于取放晶片。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置，其特征在于，所述载台还包括入料载台及出料载台，所述入料载台及所述出料载台下方分别设置水槽。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置，其特征在于，所述支架上对齐所述刷辊中间位置均设置橡胶圈。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置，其特征在于，所述驱动装置还包括储液槽及储水槽，所述储液槽通过循环管道与所述喷淋装置连接，所述储液槽用于放置清洗液。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置，其特征在于，所述储水槽通过循环管道与所述喷淋装置连接，所述储液槽一侧设有抽水口，所述储水槽底部设有排水口，所述储水槽一侧设有回流口。

6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置，其特征在于，所述驱动装置还包括挡板，所述挡板设置在所述驱动装置的底部，所述挡板可切换排放或回收模式。