[实用新型]一种MO源连续精馏提纯装置

说明书

本实用新型提供一种MO源连续精馏提纯装置，包括精馏釜以及与精馏釜连通的精馏柱；精馏柱包括外管、内管及导热管，内管固设于外管的内部，内管的中心轴线与外管的中心轴线共线，内管与外管之间形成有用于MO源蒸汽精馏提纯的微通道，导热管螺旋环绕在内管的周侧，内管的外壁和外管的内壁上均设有螺旋型沟槽。通过在微通道内设置导热管，可增大换热接触面积，提升精馏柱的传热效果，当上升的气体冷凝后，沿两管的螺旋型沟槽流下，上升的蒸气沿微通道折线形上升，有利于减薄边界层厚度，使热阻减小，具有很高的分离效率，解决了现有技术中的提纯装置提传热效果差，导致最终得到的产品纯度偏低的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及MO源生产技术领域，特别涉及一种MO源连续精馏提纯装置。

背景技术

高纯三甲基铝属于高纯金属有机化合物，是利用先进的金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺技术或原子层沉积薄膜技术(ALD)制备化合物半导体薄膜材料的关键支撑原材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，其广泛运用于LED外延片、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、红外探测器、超级计算机等领域；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。

高纯金属有机化合物三甲基铝(MO源)是一种非常活泼的化学性物质，对空气和水极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸，目前粗三甲基铝精馏方法是大家熟悉的普通的精馏法。三甲基铝的杂质归因于粗三甲基铝的生产方法、生产设备和操作方法。然而，目前的精馏柱传热效果较差，导致在精馏过程中分离效率较低，使得最终得到的产品纯度也偏低。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种MO源连续精馏提纯装置，用于解决现有技术中的提纯装置提传热效果差，导致最终得到的产品纯度偏低的技术问题。

本实用新型提出一种MO源连续精馏提纯装置，包括精馏釜以及与所述精馏釜连通的精馏柱；

所述精馏柱包括外管、内管及导热管，所述内管固设于所述外管的内部，所述内管的中心轴线与所述外管的中心轴线共线，所述内管与所述外管之间形成有用于MO源蒸汽精馏提纯的微通道，所述导热管螺旋环绕在所述内管的周侧，所述内管的外壁和所述外管的内壁上均设有螺旋型沟槽。

上述MO源连续精馏提纯装置，通过在微通道内设置导热管，可增大换热接触面积，提升精馏柱的传热效果，当上升的气体冷凝后，沿两管的螺旋型沟槽流下，上升的蒸气沿微通道折线形上升，有利于减薄边界层厚度，使热阻减小，管壁上的螺旋沟槽在传热中显著提高管内外的传热系数，起到双边强化作用，具有很高的分离效率，解决了现有技术中的提纯装置提传热效果差，导致最终得到的产品纯度偏低的技术问题。

进一步地，所述MO源连续精馏提纯装置，其中，所述外管的底端设有连通所述内管的进油管，所述外管的顶端设有连通所述内管的出油管。

进一步地，所述MO源连续精馏提纯装置，其中，所述进油管和所述出油管各通过一管道连通导热油循环泵。

进一步地，所述MO源连续精馏提纯装置，其中，所述内管中设有温度传感器，所述管道上设有电磁阀门，所述温度传感器和所述电磁阀门均与一DCS控制系统电性连接。

进一步地，所述MO源连续精馏提纯装置，其中，所述导热管采用不锈钢材料制成。

进一步地，所述MO源连续精馏提纯装置，其中，所述内管和所述外管均采用不锈钢或钽合金钢材料制成。

进一步地，所述MO源连续精馏提纯装置，其中，所述微通道的间隙宽度为500μm-5mm。

进一步地，所述MO源连续精馏提纯装置，其中，所述外管的顶端设有连通所述微通道的真空管道和出料管道。

附图说明

图1为本实用新型中MO源连续精馏提纯装置的立体图；