[实用新型]一种用于纳米压印的辊压模组

说明书

本实用新型涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于纳米压印的辊压模组，包括外框体、压辊组件和模片张紧组件；其中外框体底部设置有安装位；压辊组件设置于外框体的顶部，压辊组件包括与外框体滑动连接的辊架、与辊架滑动连接的压力辊、驱动压力辊沿外框体长度方向运动的第一驱动组件、以及用于驱动辊架沿外框体高度方向运动的第二驱动组件；模片张紧组件设置于压力辊的下方并与安装位相配合。本实用新型解决的技术问题是致力于开发一种通用性和压印效率更高的用于纳米压印的辊压模组。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种用于纳米压印的辊压模组。

背景技术

纳米压印技术，是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工基片上的技术，其加工精度已经达到2纳米，超过了传统光刻技术达到的分辨率，有望在未来取代传统光刻技术，成为微电子、材料领域的重要加工手段。

然而，现有的纳米压印设备由于缺少模块化设计，压辊组件和模片张紧组件不能很好的结合为一体，因此使得机构过于复杂且不方便装配、维修或更换，继而给生产加工带来了诸多麻烦，极大的影响了生产效率。此外，现有技术下的纳米压印设备的压辊大多位置较为固定，不能根据需要方便灵活的调整压辊位置，因此也给模片的压印带来了诸多麻烦。

实用新型内容

有鉴于现有技术的上述缺陷，本实用新型公开了一种用于纳米压印的辊压模组，该辊压模组结构紧凑，布局合理，不仅能够方便的调整压辊位置，使得模片与基片的压合变得更加的方便高效；同时也有效提升了整个辊压模组的一体性，使得通用性也大大提升。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种用于纳米压印的辊压模组，包括外框体，底部设置有安装位；

压辊组件，设置于所述外框体的顶部，所述压辊组件包括与所述外框体滑动连接的辊架、与所述辊架滑动连接的压力辊、驱动所述压力辊沿所述外框体长度方向运动的第一驱动组件、以及用于驱动所述辊架沿所述外框体高度方向运动的第二驱动组件；

模片张紧组件，设置于所述压力辊的下方并与所述安装位相配合。

优选的，本实用新型提供的一种用于纳米压印的辊压模组还包括设置于所述外框体的模片倾角调节组件。模片倾角调节组件可以采用如下的方式：方式一，设置于外框体两端通过两可升降的压头去压，通过调节两压头的高度差，使得模片呈不同的倾角被张紧；方式二，将模片张紧组件的内框体活动连接于安装位，一端铰接，一端可上下调节，通过调节端的位置高度使得模片呈不同的倾角。

优选的，所述辊架包括四个首尾连接的边框，辊架的长边框安装所述压力辊的两端，辊架的短边框高于所述长边框的上表面，所述短边框与长边框之间通过垂直的竖梁连接，所述外框体上设有与所述竖梁滑动配合的导轨，短边框与外框体之间设置所述第二驱动组件。

优选的，所述第一驱动组件包括架设于所述长边框上的电机，所述电机的转轴连接有主动轮，所述主动轮通过齿形同步带连接有从动轮，所述从动轮和主动轮之间设置所述压力辊。

优选的，所述长边框上开设有沿长度方向的长槽，所述长槽内设置有和压力辊两端滑动连接的滑轨；所述压力辊的两端分别安装有轴承座，所述轴承座与所述滑轨滑动配合。

优选的，所述模片张紧组件包括安装于所述安装位内的内框体，所述内框体的一端设置有压条，内框体的另一端设置有弹性张紧件，模片的两端分别与所述压条和弹性张紧件相连接。

优选的，所述弹性张紧件每端包括两个固定于所述内框体上的支撑块，两个所述支撑块之间设有与内框体的长边平行的导杆，两根所述导杆分别与夹条的两端滑动连接，且每个导杆上均套设有与所述夹条相抵的弹簧。

优选的，所述内框体与下方的基片倾斜设置，所述模片相对于基片的倾斜角度a的大小为3～5°。

优选的，所述安装位为位于所述外框体底部内侧的台阶。