[实用新型]一种具有防错位结构的晶圆包装盒

说明书

本申请涉及一种具有防错位结构的晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，盒体内设有第一分隔件，盒盖内侧设有第二分隔件，第一分隔件和第二分隔件均用于分隔和限位晶圆，第二分隔件包括边框和多个阵列设置在边框上的柔性压条，柔性压条上设有多个间隔布置的晶圆限位块，晶圆限位块上设有用于限位晶圆的导向卡槽，相邻柔性压条上的晶圆限位块相互独立，且在宽度方向上存在部分交叉，以阻止晶圆落入相邻晶圆限位块之间。本申请设置了防错位结构，能解决大部分的错位问题；又由于柔性压条都是相互独立的，在分隔方向的变形能力很强，在不进入导向卡槽的情况下，不会对晶圆产生较大的扭曲力，不易损伤晶圆。

技术领域

本申请涉及包装转运技术领域，尤其是涉及一种具有防错位结构的晶圆包装盒。

背景技术

公开号为US2005/0274645A1、名称为“SUBSTRATE STORAGE CONTAINER”的美国专利申请公开了一种晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，盒体内设有第一分隔件，盒盖内侧设有第二分隔件，第一分隔件和第二分隔件均用于分隔和限位晶圆，第二分隔件包括边框、柔性压条和三条晶圆限位条，晶圆限位条上设有用于限位晶圆的V形卡槽，利用柔性压条的变形能力将晶圆压紧，从而有效防止晶圆在包装盒内晃动，由于晶圆较薄，有的不足1毫米，V形卡槽的开口宽度也比较小，所以在盖上盒盖时有机会产生错位，即晶圆错误地卡入了相邻的V形卡槽的侧壁之间，甚至卡入旁边的V形卡槽内，由于晶圆限位条的存在，将柔性压条连接为一个整体，在分隔方向的变形能力较弱，而且晶圆又薄又脆，错位一旦发生，晶圆就会受到扭曲力，特别容易损坏，有待改进。

实用新型内容

为了解决现有晶圆包装盒在安装盒盖时有机会使晶圆与第二分隔件 产生错位，导至晶圆损坏的技术问题，本发明提供了一种具有防错位结构的晶圆包装盒。

本申请提供的一种具有防错位结构的晶圆包装盒采用如下的技术方案：一种具有防错位结构的晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，所述盒体内设有第一分隔件，所述盒盖内侧设有第二分隔件，所述第一分隔件和第二分隔件均用于分隔和限位晶圆，所述第二分隔件包括边框和多个阵列设置在边框上的柔性压条，所述柔性压条上设有多个间隔布置的晶圆限位块，所述晶圆限位块上设有用于限位晶圆的导向卡槽，相邻柔性压条上的晶圆限位块相互独立，且在宽度方向上存在部分交叉，以阻止晶圆落入相邻晶圆限位块之间。

通过采用上述技术方案，本申请由于设置了防错位结构，使相邻柔性压条上的晶圆限位块在宽度方向上存在部分交叉，晶圆要么顺利地滑入对应的导向卡槽，要么被晶圆限位块相互交叉的部分挡住，无法进入导向卡槽，能解决大部分的错位问题；又由于柔性压条都是相互独立的，在分隔方向的变形能力很强，在不进入导向卡槽的情况下，不会对晶圆产生较大的扭曲力，不易损伤晶圆；在晶圆滑入对应的导向卡槽时，由于柔性压条在分隔方向的变形能力很强，对晶圆导向更加柔和，也不易损伤晶圆。

优选地，相邻柔性压条上相邻的两个晶圆限位块其中一个侧面向内凹陷形成凹槽，其中一个向外凸出形成凸块，所述凸块的一部分伸入凹槽内。

通过采用上述技术方案，这样相邻的两个晶圆限位块就形成了交叉，能阻止晶圆落入相邻晶圆限位块之间。

优选地，所述凹槽为内V形，所述凸块为外V形。

优选地，所述盒盖内侧设有多个卡扣，所述边框通过卡扣固定在盒盖上。

通过采用上述技术方案，第二分隔件的固定结构简单，操作容易。

优选地，所述盒盖内侧还设有定位柱，所述边框上对应设有定位槽，所述定位柱嵌入定位槽内，以对第二分隔件在间隔方向上进行定位。

通过采用上述技术方案，能保证第二分隔件的定位精度，以及位置的稳定性。

优选地，所述导向卡槽为V形槽。

优选地，所述柔性压条为向上拱起的U形压条，两端与边框连接，中部超出边框所在的平面。