[实用新型]气枪

说明书

本实用新型涉及一种气枪，气枪包括枪体以及握把。枪体设有相对的两端，枪体的一端设有喷头，枪体的另一端连接有进气管。进气管用于与气体提供设备相连通。握把设有安装孔，枪体沿其长度方向位置可调节地穿设于安装孔中。握把上设有锁紧组件，锁紧组件用于锁紧或松开枪体。当用于对深度较深或空间狭窄的待清洁部进行清洁时，使锁紧组件松开枪体，调整握把移动到枪体上的合适位置后，通过锁紧组件锁紧固定枪体。然后手动握持握把，使枪体的喷头伸入到待清洁部中对待清洁部进行清洁处理。如此，能有效地完成对深度较深或空间狭窄的待清洁部的清洁操作，可根据环境需要进行适应性地调节枪体可伸入到待清洁部中的长度尺寸，使得能适应多种环境。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种气枪。

背景技术

传统地，吹气清洁是晶圆加工厂(FAB)中常见的清洁方式之一，其采用的清洁设备通常包括气枪，气枪包括但不限于为吹扫气体为氮气的氮气枪，用于提供吹扫气体作用于半导体设备或基板的表面，起到清洁作用。然而，传统的气枪存在枪体长度较短、灵活性低等等缺陷，使得无法很好地对较深且较狭小的空间进行清洁，清洁效果无法满足于用户需求。

发明内容

基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种气枪，它能够便于对狭小或较深空间清洁处理。

其技术方案如下：一种气枪，所述气枪包括：

枪体，所述枪体设有相对的两端，所述枪体的一端设有喷头，所述枪体的另一端连接有进气管，所述进气管用于与气体提供设备相连通；以及

握把，所述握把设有安装孔，所述枪体沿其长度方向位置可调节地穿设于所述安装孔中，所述握把上设有锁紧组件，所述锁紧组件用于锁紧或松开所述枪体。

在其中一个实施例中，，所述枪体为杆体或管体，并设有从一端延伸至另一端的气孔，所述气孔分别连通所述进气管与所述喷头；和/或，所述枪体的长度为25cm-35cm。

在其中一个实施例中，，所述锁紧组件包括调节按钮与锁紧件；所述调节按钮连接于所述握把上，所述调节按钮与所述锁紧件相连，用于驱动所述锁紧件运动到锁紧位置或松开位置，所述锁紧件位于所述锁紧位置时锁紧所述枪体，所述锁紧件位于所述松开位置时松开所述枪体。

在其中一个实施例中，所述枪体的至少一侧设有延其长度方向设置的第一滑动部，所述握把上设有与所述第一滑动部滑动配合的第二滑动部。

在其中一个实施例中，所述握把上设有气流控制阀，所述进气管包括第一软管与第二软管，所述第一软管的两端分别连接所述气流控制阀的出气接口以及所述枪体，所述第二软管的一端与所述气流控制阀的进气接口相连通，所述第二软管的另一端用于与所述气体提供设备相连通。

在其中一个实施例中，所述握把包括支撑件、握持部、以及调节部；所述安装孔形成于所述支撑件上，所述支撑件与所述握持部相连，所述调节部一端与所述支撑件转动相连，所述调节部转动时能相应调整气体控制阀的开度大小。

在其中一个实施例中，所述喷头可转动地连接于所述枪体上，所述气枪还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述喷头转动。

在其中一个实施例中，所述驱动组件包括牵拉件与调节开关，所述牵拉件一端与所述喷头相连，所述牵拉件沿所述枪体的长度方向设置，所述牵拉件的另一端与所述调节开关相连，所述调节开关位于远离于所述喷头的所述枪体的一端，所述调节开关用于驱动所述牵拉件动作，以调整所述喷头与所述枪体的中心轴线所形成的夹角大小。

在其中一个实施例中，所述驱动组件还包括转动套，所述转动套可转动地连接于所述枪体的端部上，所述转动套还分别与所述喷头、所述牵拉件相连；所述气枪还包括设置于所述喷头与所述枪体之间的第三软管，所述第三软管两端分别与所述喷头、所述枪体相连通；所述第三软管设于所述转动套中。