[实用新型]事故排风净化处理装置及系统

说明书

本实用新型提供一种事故排风净化处理装置及系统，事故排风净化处理装置包括：净化处理箱、过滤模块及吸附组件，净化处理箱具有腔体，且净化处理箱相对的两端具有进气口和出气口，进气口用于与废气连通；过滤模块靠近进气口设于所述腔体内，吸附组件设于过滤模块与出气口之间，吸附组件包括第一吸附模块、第二吸附模块、第三吸附模块以及第四吸附模块中的至少两个；第一吸附模块用于吸附有毒废气；第二吸附模块用于吸附低沸点的有机废气；第三吸附模块用于吸附酸性废气，第四吸附模块用于吸附碱性废气。本实用新型将多组分多性质废气处理集成一套事故排风净化处理装置，进行集中处理，去除效率高，节能环保，同时也减少工程量和占地面积，成本低。

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种事故排风净化处理装置及系统。

背景技术

在半导体制程工序中会使用到大量的特殊气体，由于操作事故、设备故障，或气体挥发泄露，会突然产生大量有毒、易燃、易爆的危险气体。在厂务废气处理区，为了防止对工作人员造成伤害和防止事故进一步扩大，会要求设有事故排风处理系统。参照GB 51401-2019《电子工业废气处理工程设计标准》对有毒有害的事故排风系统宜采用稀释的方式达标排放，但是近年来对废气排放的要求越来越严，稀释处理逐渐淘汰，应采用吸附、洗涤、焚烧、冷却等处理方式。

由于事故排气废气种类多样，涵盖酸性气体、碱性气体、有毒气体、腐蚀气体、可燃气体等。针对废气的物化性质、浓度等参数采用不同的方法，比如：对于砷烷、磷烷等剧毒气体，采用水洗或干式吸附处理；对于Cl₂、HF等酸性气体，采用水洗或碱洗处理；对于SiH₄、SiH₂Cl₂等可燃性气体，采用燃烧处理。

事故排风常用的处理方法是将不同废气进行分类收集，排入特定的处理系统中，分开收集分开处理的工艺，效率低，且对多组分废气来说投资成本相对很高。

实用新型内容

本实用新型提供一种事故排风净化处理装置及系统，用以解决现有技术中废气处理装置将不同废气进行分类收集，排入特定的处理系统，采用分开收集分开处理的工艺，效率低，且成本高的问题。

本实用新型提供一种事故排风净化处理装置，包括：净化处理箱、过滤模块及吸附组件，所述净化处理箱具有腔体，且所述净化处理箱相对的两端具有进气口和出气口，所述进气口用于与废气连通；所述过滤模块靠近所述进气口设于所述腔体内，所述吸附组件设于所述过滤模块与所述出气口之间，所述吸附组件包括第一吸附模块、第二吸附模块、第三吸附模块以及第四吸附模块中的至少两个；其中，所述第一吸附模块用于吸附有毒废气；所述第二吸附模块用于吸附低沸点的有机废气；所述第三吸附模块用于吸附酸性废气，所述第四吸附模块用于吸附碱性废气。

根据本实用新型提供的一种事故排风净化处理装置，所述净化处理箱的顶部设有多个安装口，所述第一吸附模块、所述第二吸附模块、所述第三吸附模块以及所述第四吸附模块中的至少两个通过对应的所述安装口设于所述腔体内。

根据本实用新型提供的一种事故排风净化处理装置，所述事故排风净化处理装置还包括密封件，所述第一吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间、所述第二吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间、所述第三吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间以及所述第四吸附模块与所述净化处理箱的内壁面之间均设有密封件。

根据本实用新型提供的一种事故排风净化处理装置，所述事故排风净化处理装置还包括压力表，所述过滤模块与所述吸附组件之间、相邻两个吸附模块之间以及所述吸附组件与所述出气口之间均设有压力表。

根据本实用新型提供的一种事故排风净化处理装置，所述第一吸附模块的顶部设有第一氮气吹扫口，所述第二吸附模块的顶部设有第二氮气吹扫口，所述第三吸附模块的顶部设有第三氮气吹扫口，所述第四吸附模块设有第四氮气吹扫口，所述第一氮气吹扫口、所述第二氮气吹扫口、所述第三氮气吹扫口以及所述第四氮气吹扫口均用于与氮气连通。