[实用新型]太阳能电池硅片扩散用带桨一体舟托有效
| 申请号： | 202320100141.5 | 申请日： | 2023-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN219267621U | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 陈恒;汤芳;孙秋谨 | 申请（专利权）人： | 浙江浩锐石英科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18;F16F15/067 |
| 代理公司： | 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 | 代理人： | 赵骁勇 |
| 地址： | 313100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 硅片 扩散 用带桨 一体 | ||
1.太阳能电池硅片扩散用带桨一体舟托，包括两个桨体（1），其特征在于，所述两个桨体（1）的顶端滑动安装有同一个舟托本体（11），每个所述桨体（1）的内侧均固定安装有两个固定框（12），所述舟托本体（11）的底端活动安装有至少两个定向滑块（19），每个所述定向滑块（19）的顶端均开设有凹槽（18），每个所述凹槽（18）的内部均滑动安装有承载板（16），每个所述承载板（16）的底端均固定安装有两个缓冲弹簧（17），所述舟托本体（11）的两个侧端部均固定安装有固定板（15），每个所述固定板（15）的顶端均转动安装有第一螺纹杆（14）。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片扩散用带桨一体舟托，其特征在于，每个所述固定框（12）的顶端均滑动安装有U型插板（13）。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池硅片扩散用带桨一体舟托，其特征在于，每个所述U型插板（13）的顶端均转动安装有转杆（21）。
4.根据权利要求2所述的太阳能电池硅片扩散用带桨一体舟托，其特征在于，每个所述U型插板（13）的两个侧端部均滑动安装有夹板（24）。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池硅片扩散用带桨一体舟托，其特征在于，每个所述夹板（24）的侧端部均转动安装有第二螺纹杆（22）。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池硅片扩散用带桨一体舟托，其特征在于，每个所述第二螺纹杆（22）的顶端均固定安装有锥形齿轮（23）。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
