[实用新型]一种喷淋头装置

权利要求书

1.一种喷淋头装置，其特征在于：包括外壳、内喷淋头(1)、外喷淋头(2)和用于驱动内喷淋头(1)、外喷淋头(2)上下运动的驱动机构(3)，内喷淋头(1)、外喷淋头(2)和驱动机构(3)均位于外壳内，内喷淋头(1)与外喷淋头(2)相互独立布置，内喷淋头(1)和外喷淋头(2)上分别单独设有驱动机构(3)，内喷淋头(1)和外喷淋头(2)与驱动机构(3)的输出端连接。

2.如权利要求1所述的一种喷淋头装置，其特征在于：所述外壳内还设有安装板(4)，安装板(4)固定连接在外壳上，驱动机构(3)固定连接在安装板(4)上。

3.如权利要求2所述的一种喷淋头装置，其特征在于：所述驱动机构为升降电机，升降电机为伺服电机，内喷淋头(1)和外喷淋头(2)与升降电机的输出轴连接，升降电机的外壳固定连接在安装板(4)上。

4.如权利要求2所述的一种喷淋头装置，其特征在于：所述驱动机构为伺服气缸，内喷淋头(1)和外喷淋头(2)与伺服气缸的伸缩杆连接，伺服气缸的固定端与安装板(4)连接。

5.如权利要求3或4所述的一种喷淋头装置，其特征在于：所述内喷淋头(1)和外喷淋头(2)为同心圆结构，内喷淋头(1)嵌套在外喷淋头(2)中，内喷淋头(1)与外喷淋头(2)之间为间隙配合。

6.如权利要求5所述的一种喷淋头装置，其特征在于：所述内喷淋头(1)和外喷淋头(2)的高度调节范围为0-10mm。

7.如权利要求5所述的一种喷淋头装置，其特征在于：所述内喷淋头(1)和外喷淋头(2)的表面设置氧化钇涂层或在内喷淋头(1)和外喷淋头(2)的表面做阳极氧化。

8.如权利要求5所述的一种喷淋头装置，其特征在于：所述喷淋头装置还包括流量比控制器(6)，流量比控制器(6)的一端通过总管道(7)与化学气相沉积设备的气柜(5)连通，流量比控制器(6)的另一端通过分管道Ⅰ(8)与外喷淋头(2)连通，通过分管道Ⅱ(9)与内喷淋头(1)连通。