[实用新型]一种用于微渗漏检测的分布式电导率传感器及作业装置

权利要求书

1.一种用于微渗漏检测的分布式电导率传感器，其特征在于，所述分布式电导率传感器粘结在作业装置的内壁上，所述电导率传感器包括基板(1)、呈阵列分布在所述基板(1)上的驱动电极(2)以及呈阵列分布在所述基板(1)上的感应电极(3)；其中，所述驱动电极(2)串联构成驱动电极串，所述感应电极(3)串联构成感应电极串；

所述分布式电导率传感器还包括设置在所述基板(1)上与所述驱动电极串和所述感应电极串相连的电极焊盘(4)。

2.如权利要求1所述的用于微渗漏检测的分布式电导率传感器，其特征在于，所述分布式电导率传感器的厚度为0.5mm。

3.如权利要求1所述的用于微渗漏检测的分布式电导率传感器，其特征在于，所述基板(1)采用柔性材料制成。

4.如权利要求1所述的用于微渗漏检测的分布式电导率传感器，其特征在于，所述分布式电导率传感器与所述作业装置之间设置有绝缘层(5)，所述分布式电导率传感器粘结在所述绝缘层(5)的内侧。

5.一种作业装置，其特征在于，所述作业装置包括权利要求1-4任意一项所述的分布式电导率传感器。