[实用新型]一种用于涂胶显影机的真空源装置有效
| 申请号： | 202320126729.8 | 申请日： | 2023-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN219320649U | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 张冬林;刘辉;杨科;王军 | 申请（专利权）人： | 上海百雅信息科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 谢建春 |
| 地址： | 200441 上海市宝山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 涂胶 显影 真空 装置 | ||
1.一种用于涂胶显影机的真空源装置，其特征在于，所述真空源装置包括安装座(1)、气源三联件(2)和真空发生器(4)，所述真空发生器(4)和气源三联件(2)固定连接在所述安装座(1)上，所述气源三联件(2)上设有进气口(21)和出气口(22)，所述气源三联件(2)的进气口(21)连接压缩气源，所述真空发生器(4)上设有气源接口(42)、真空源接口(41)，所述气源三联件(2)的出气口(22)通过通气管道(31)与所述真空源接口(41)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于涂胶显影机的真空源装置，其特征在于，所述气源三联件(2)包括依次连接的过滤器(25)、减压阀和油雾器(27)，所述气源三联件(2)上设有压力调节旋钮(24)。
3.根据权利要求1所述的一种用于涂胶显影机的真空源装置，其特征在于，所述出气口(22)和气源接口上均设有快拧接头(3)，所述通气管道(31)与快拧接头(3)卡压连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于涂胶显影机的真空源装置，其特征在于，所述快拧接头(3)为内螺纹直通快拧接头(3)。
5.根据权利要求1所述的一种用于涂胶显影机的真空源装置，其特征在于，所述通气管道(31)为金属软管或塑料软管。
6.根据权利要求1所述的一种用于涂胶显影机的真空源装置，其特征在于，所述安装座(1)上设有固定卡座(11)，所述气源三联件(2)上设有卡座凹槽，所述气源三联件(2)通过卡座凹槽和固定卡座(11)卡接固定。
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