[实用新型]视镜冷却水的缓冲装置及还原炉

说明书

本实用新型公开了一种视镜冷却水的缓冲装置及还原炉，涉及多晶硅技术领域，主要目的是维持视镜夹层结构的冷却水压力的稳定性，避免视镜爆裂。本实用新型的主要技术方案为：视镜冷却水的缓冲装置，该装置包括：中心管、柔性套管和壳体套管；所述中心管的管壁均布有多个泄压孔，所述中心管的两端分别连接于视镜夹层冷却水管路；所述柔性套管套接于所述中心管，所述柔性套管的内表面覆盖多个所述泄压孔；所述壳体套管套接于所述柔性套管，所述壳体套管的两端口向所述中心管的管壁收紧，用于将所述柔性套管固定在所述壳体套管和所述中心管之间，所述柔性套管和所述壳体套管之间的空间填充有缓冲气体。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅技术领域，尤其涉及一种视镜冷却水的缓冲装置及还原炉。

背景技术

在多晶硅生产中硅棒在还原炉内生长，生长好的硅棒在还原炉内降温到一定温度后需要将还原炉钟罩拆掉取硅棒。拆还原炉钟罩时需要关闭钟罩各冷却水阀门后再拆除冷却水连接管路。但在拆除过程中，钟罩内的硅棒温度还有很高的温度，该温度足够让封闭在钟罩各冷却水结构内的水温度升高汽化使封闭结构内的压力升高，其次是封闭的冷却水在钟罩清洗过程中温度会降低形成负压。还原炉视镜是由两块石英玻璃制作，两块石英玻璃之间需要通冷却水冷却。现有的视镜冷却水系统只有相应的管路和阀门，当封闭的视镜冷却水压力过高或过低时会导致还原炉视镜无法承受此压力而爆裂，因此会产生一定的安全隐患。

现有的技术为最后关闭视镜夹层结构处水路并拆除相关联管道，保证在最短的时间段内将钟罩拆掉吊离硅棒，避免视镜长时间在封闭水路的情况下受硅棒高温烘烤。

但是，现有技术还是存在如下缺点：

(1)视镜夹层结构在封闭水路后没有缓冲泄压结构；

(2)视镜夹层结构在水温降低时容易形成负压环境，损坏视镜；

(3)遇到突发情况，钟罩无法及时吊离时，还使视镜因长时间高温烘烤而破裂。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种视镜冷却水的缓冲装置及还原炉，主要目的是维持视镜夹层结构的冷却水压力的稳定性，避免视镜爆裂。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型提供了一种视镜冷却水的缓冲装置，该装置包括：中心管、柔性套管和壳体套管；

所述中心管的管壁均布有多个泄压孔，所述中心管的两端分别连接于视镜夹层冷却水管路；

所述柔性套管套接于所述中心管，所述柔性套管的内表面覆盖多个所述泄压孔；

所述壳体套管套接于所述柔性套管，所述壳体套管的两端口向所述中心管的管壁收紧，用于将所述柔性套管固定在所述壳体套管和所述中心管之间，所述柔性套管和所述壳体套管之间的空间填充有缓冲气体。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，还包括两个锁紧螺母，所述柔性套管的两端分别延伸至所述壳体套管的外部，两个所述锁紧螺母分别螺纹连接于所述中心管的相对端，用于将所述柔性套管的两端抵紧于所述壳体套管的端部外侧。

可选的，所述柔性套管的两端外侧分别设有卡槽，所述壳体套管的两端口分别抵进所述卡槽内。

可选的，所述壳体套管的管壁连接于充气管，所述充气管设有充气阀。

另一方面，本实用新型还提供了一种还原炉，其包括：钟罩及前述视镜冷却水的缓冲装置。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：

当还原炉正常运行时，外界冷却水依次通过还原炉视镜夹层结构和中心管。在拆卸还原炉钟罩，关闭视镜夹层冷却水管路进水阀门、回水阀门后。