[实用新型]掩模组件有效
申请号: | 202320170359.8 | 申请日: | 2023-01-19 |
公开(公告)号: | CN219385296U | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 洪宰敏;罗成进;卢熙锡;李晟彻 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04;H10K71/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 杨帆;田野 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模组 | ||
1.一种掩模组件,其特征在于,所述掩模组件包括:
框架,所述框架包括:长边部,在第一方向上延伸并且在与所述第一方向交叉的第二方向上彼此间隔开;以及短边部,连接到所述长边部,所述框架限定框架开口;
第一杆部,在所述第二方向上延伸并且连接到所述框架;
第一掩模片,限定第一沉积开口并且连接到所述第一杆部和所述框架,所述第一沉积开口在平面图中与所述框架开口叠置;以及
第二掩模片,限定第二沉积开口并且连接到所述第一杆部和所述框架,所述第二沉积开口在所述平面图中与所述框架开口叠置。
2.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于,所述第一杆部的一部分在所述第一掩模片与所述第二掩模片之间被暴露。
3.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于,
所述长边部包括杆部槽,并且
所述第一杆部插入到所述杆部槽中。
4.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于,所述第一杆部设置在所述第一掩模片的后表面和所述第二掩模片的后表面上或者设置在所述第一掩模片的前表面和所述第二掩模片的前表面上。
5.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于,所述第一掩模片和所述第二掩模片中的每个具有在50μm至300μm的范围内的厚度,
所述第一杆部具有在50μm至300μm的范围内的厚度,并且
所述第一杆部在所述第一方向上具有在1mm至5mm的范围内的宽度。
6.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于,所述第一掩模片、所述第二掩模片、所述第一杆部和所述框架中的每个包括因瓦合金。
7.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于,所述掩模组件还包括:
第二杆部,在所述第二方向上延伸并且在所述第一方向上与所述第一杆部间隔开;以及
第三掩模片,限定第三沉积开口并且连接到所述第二杆部和所述框架,所述第三沉积开口在所述平面图中与所述框架开口叠置,其中,
所述第二掩模片设置在所述第一掩模片与所述第三掩模片之间,并且
所述第二杆部的一部分在所述第二掩模片与所述第三掩模片之间被暴露。
8.根据权利要求7所述的掩模组件,其特征在于,
所述第一掩膜片至所述第三掩膜片中的每个包括在所述第一方向上彼此间隔开的边和在所述第二方向上彼此间隔开的其它边,
所述第一掩模片的所述边中的一个连接到所述第一杆部,所述边中的另一个连接到所述短边部中的与其叠置的一个,并且所述其它边中的每个连接到所述长边部中的与其叠置的一个,
所述第三掩模片的所述边中的一个连接到所述第二杆部,所述边中的另一个连接到所述短边部中的与其叠置的一个,并且所述其它边中的每个连接到所述长边部中的与其叠置的一个,并且
所述第二掩模片的所述边中的一个连接到所述第一杆部,所述边中的另一个连接到所述第二杆部,并且所述其它边中的每个连接到所述长边部中的与其叠置的一个。
9.根据权利要求8所述的掩模组件,其特征在于,所述掩模组件还包括:
第一焊接突起,分别设置在所述第一掩模片和所述第二掩模片中的每个的前表面以及所述第二掩模片和所述第三掩模片中的每个的前表面上,所述第一掩模片和所述第二掩模片中的每个的所述前表面在所述平面图中与所述第一杆部叠置,所述第二掩模片和所述第三掩模片中的每个的所述前表面在所述平面图中与所述第二杆部叠置;以及
第二焊接突起,在所述平面图中与所述框架叠置地分别设置在所述第一掩模片至所述第三掩模片的所述前表面上。
10.根据权利要求1所述的掩模组件,其特征在于,所述第一掩模片和所述第二掩模片中的每个在所述第一方向上的宽度小于所述第一掩模片和所述第二掩模片中的每个在所述第二方向上的宽度。
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