[实用新型]一种大板晶圆的检测设备

权利要求书

1.一种大板晶圆的检测设备，其特征在于，包括托板组件、托板移动组件、下压组件、晶圆探针、工作台；

所述托板组件包括晶圆托板、弹簧托板，所述弹簧托板设置于所述晶圆托板正下方，所述弹簧托板与所述托板组件之间通过导柱贯穿连接成一体，所述导柱上安装有弹簧，所述弹簧的一端抵触所述托板组件，另一端抵触所述弹簧托板；

所述托板移动组件包括托板定位滑块、两个滑轨，所述托板定位滑块与所述晶圆托板连接用于所述晶圆托板的位置；所述托板定位滑块安装在所述滑轨上且在所述滑轨上滑动，所述托板定位滑块上安装有X轴向定位组件，所述X轴向定位组件与所述工作台连接后限定所述托板定位滑块的位置，所述两个滑轨安装于所述工作台上且所述两个滑轨分别对称分布于所述晶圆托板两侧；

所述下压组件包括支架、推拉杆、导柱、水平支撑板、假手指压块；所述支架架设于所述晶圆托板旁，所述水平支撑板的顶端安装有推拉杆，所述推拉杆通过导柱贯穿所述水平支撑板后与所述假手指压块连接，所述假手指压块位于所述晶圆托板正上方；

所述晶圆探针安装于所述工作台上且设置于所述晶圆托板正下方，用于连接晶圆PAD测试点实现测试功能。

2.根据权利要求1所述一种大板晶圆的检测设备，其特征在于，下压组件还包括两个压条每个压条上安装有多个橡胶压头，所述多个橡胶压头等间距分布上且分布于同一直线上，所述两个压条对称安装于所述假手指压块的两侧，所述晶圆托板上开设有与所述橡胶压头位置对应的橡胶压头槽，所述橡胶压头设置于所述橡胶压头槽内。

3.根据权利要求1所述一种大板晶圆的检测设备，其特征在于，所述托板定位滑块呈匚字状，所述晶圆托板卡设于所述托板定位滑块内，所述托板定位滑块安装于所述滑轨上；所述X轴向定位组件为定位卡针，所述定位卡针沿着竖直方向安装于所述托板定位滑块上，所述工作台上开设有多个定位孔，多个定位孔沿着所述滑轨滑动方向分布且与大板晶圆测试点位置对应。

4.根据权利要求3所述一种大板晶圆的检测设备，其特征在于，所述工作台上开设有多个定位孔，所述多个定位孔沿着所述滑轨滑动方向分布，所述定位卡针插设于所述定位孔内限定所述大板晶圆在所述滑轨上的位置。

5.根据权利要求1所述一种大板晶圆的检测设备，其特征在于，所述晶圆托板上开设有大板晶圆槽，大板晶圆设置于所述大板晶圆槽内，所述大板晶圆槽上开设有多个测试孔，所述多个测试孔与所述大板晶圆底部的PAD测试点位置一一对应，旋转锁扣安装于所述晶圆托板上，所述旋转锁扣用于锁紧固定所述大板晶圆。