[实用新型]一种等离子水洗机养护装置

说明书

本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片，所述垫片的下方设有四个四分之一圆环形的固定座，每个所述固定座的表面均固定有转动架；用户在安装火炬时，将火炬的法兰盘放在垫片上，按动开关，用户观察辅助激光形成的十字线，可判断出安装是否准确，再次按动启动开关，使固定座吸附固定在反应室处，伸缩杆、套杆、弹簧将火炬支撑，用户向下按压火炬，弹簧产生收缩，火炬向安装处平移，避免火炬安装时碰撞到反应室边缘，便于用户安装，火炬放置正确无误后，拔下锁定杆，继续对夹台施加压力，使弹簧压缩，即可将夹台从垫片下抽出，操作简单方便，便于用户准确安装火炬。

技术领域

本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，具体涉及一种等离子水洗机养护装置。

背景技术

生产制造半导体的零件时，添加的各种试剂在加工的过程中会产生挥发形成尾气，生产车间的尾气需要经过处理后才能够排放，处理尾气会使用到等离子水洗机；等离子水洗机的反应室需要定期清理养护，清理时需要卸下其中的等离子火炬，目前在拆卸和安装火炬时，通常借助扳手等通用工具，拆卸掉等离子火炬的法兰盘，然后手持取出；市面上目前还没有专门用于安装和拆卸等离子水洗机中火炬的工具，在一些中大型的等离子水洗机中，火炬的重量较大，安装火炬费时费力，十分不便。

为解决上述问题，本申请中提出一种等离子水洗机养护装置。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种等离子水洗机养护装置，具有安装火炬时辅助校准，拆卸火炬时辅助省力的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片，所述垫片的下方设有四个四分之一圆环形的固定座，每个所述固定座的表面均固定有转动架，所述固定座的内侧固定有辅助激光，所述转动架转动连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离所述转动架的一端滑动连接有套杆，所述套杆内安装有弹簧，所述套杆远离所述伸缩杆的一端通过转动座转动连接有夹台，所述夹台贴合在所述垫片的底侧。

作为本实用新型一种等离子水洗机养护装置优选的，所述夹台的边沿处开设有对称设置的插孔，所述夹台的一侧设有锁定杆，所述锁定杆的两端固定有插块，所述插块与所述插孔插接，四个所述夹台通过四个所述锁定杆收尾相连。

作为本实用新型一种等离子水洗机养护装置优选的，所述夹台的表面开设有通槽，所述通槽的宽度大于所述垫片上通孔的直径。

作为本实用新型一种等离子水洗机养护装置优选的，所述固定座内为空心结构，所述固定座内安装有电池，所述电池的两侧设有固定在所述固定座内的电磁铁，所述固定座的外侧壁安装有开关。

作为本实用新型一种等离子水洗机养护装置优选的，所述伸缩杆与所述转动架转动连接处开设有豁口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

用户在安装火炬时，将火炬的法兰盘放在垫片上，按动开关，用户观察辅助激光形成的十字线，可判断出安装是否准确，再次按动启动开关，使固定座吸附固定在反应室处，伸缩杆、套杆、弹簧将火炬支撑，用户向下按压火炬，弹簧产生收缩，火炬向安装处平移，避免火炬安装时碰撞到反应室边缘，便于用户安装，火炬放置正确无误后，拔下锁定杆，继续对夹台施加压力，使弹簧压缩，即可将夹台从垫片下抽出，操作简单方便，便于用户准确安装火炬。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中图1A处的放大结构示意图；

图3为本实用新型中套杆的结构示意图；