[实用新型]一种位移测量装置

权利要求书

1.一种位移测量装置，包括：

固定壳体，其具有直柱形外轮廓，且内部设置有位移测量单元；

其特征在于，

所述固定壳体内部具有沿轴线延伸的中空结构，所述中空结构内顺次装配有滚珠衬套和弹簧套管，所述滚珠衬套和弹簧套管的内部共同穿设导向轴，所述导向轴用于传递被测量目标的位移量；

限位模块，其设置在导向轴外周侧以限制导向轴的周向旋转运动；

所述的位移测量单元包括MEMS芯片和光路传输模块，其中，

所述的MEMS芯片设置在导向轴的靠近光路传输模块的端面上，所述的MEMS芯片用于接收和反射光源信号，所述的MEMS芯片与光路传输模块之间存在间隙；

若所述的被测量目标发生位移时，所述的限位模块限制导向轴沿着位移测量装置的轴线滑动，以改变所述的MEMS芯片与光路传输模块之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的位移测量装置，其特征在于，

所述的弹簧套管的一端设置有导向槽，所述的限位模块与所述导向槽滑动配合；

所述的弹簧套管的另一端设置有限位结构，所述的限位模块和限位结构之间设置有弹性元件，所述的弹性元件沿着位移测量装置的轴线延伸且始终处于压缩状态。

3.根据权利要求2所述的位移测量装置，其特征在于，

所述的限位模块包括插销和弹簧限位块，所述的插销固定安装在所述导向轴上，并可在所述导向槽内滑动；

所述的弹簧限位块设置在插销和弹性元件之间。

4.根据权利要求3所述的位移测量装置，其特征在于，

所述的导向轴的远离MEMS芯片的端部上设置有安装部，所述的安装部可用于安装多种类型的测量探头。

5.根据权利要求4所述的位移测量装置，其特征在于，

所述的测量装置还包括密封罩和卡套，所述的卡套用于限位滚珠衬套的端部，所述的密封罩密封导向轴、探头和卡套的外表面。

6.根据权利要求5所述的位移测量装置，其特征在于，

所述的插销采用低摩擦材料制作，和/或，所述的密封罩采用橡胶材料制作，所述的橡胶材料选自聚氨酯弹性体橡胶、丁腈橡胶或氟橡胶中的一种。

7.根据权利要求1所述的位移测量装置，其特征在于，

所述的光路传输模块包括准直单元，所述的准直单元的入光侧接收光源信号，所述准直单元的出光侧用于将准直后的光源信号输出至所述MEMS芯片。

8.根据权利要求7所述的位移测量装置，其特征在于，

所述准直单元的入光侧连接有光缆，所述的光源信号通过所述光缆输入准直单元的入光侧。

9.根据权利要求8所述的位移测量装置，其特征在于，

所述MEMS芯片上设置有反射元件，经过准直单元的光源信号照射至所述反射元件后发生衍射或干涉，衍射或干涉的光源信号被信号接收模块采集。

10.根据权利要求9所述的位移测量装置，其特征在于，

所述的准直单元通过准直器支架设置于所述固定壳体内，所述的准直器支架用于调整准直单元的姿态和/或位置；和/或，所述的准直单元和准直器支架通过焊接连接。