[实用新型]一种靶材测量装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材的测量装置，包括测量机构和用于定位靶材的固定底座；测量机构包括固定杆；固定杆上活动连接有两根测量杆；测量杆具有磁性，可吸附在靶材上；测量杆的一端设有导向部；导向部可与固定底座配合用于对固定杆导向，使得测量杆沿靶材的轴向运动；两根测量杆中的其中一根上固定有用于测量两根测量杆之间距离的测距传感器。本实用新型采用两根活动测量杆配合测距传感器，能够快速测出靶材各处位置的损耗程度，能够高效测量整根靶材，不需要慢慢寻找靶材最薄处，同时设置了导向部，保证了两根测量杆与测量靶材截面置于同一平面，消除了测量误差，从而能够得到准确数据，为靶材利用率提升和防止过度溅射提供数据支持。

技术领域

本实用新型涉及光伏电池技术领域，尤其是涉及一种靶材的测量装置。

背景技术

随着近年来异质结电池HJT技术的应用，在成本控制和效率转换方面比传统电池片工艺具有越来越高的竞争力。作为HJT技术中重要的一环，PVD技术使用TCO靶材作为镀膜核心材料，在电池片表面形成一层TCO膜，而靶材的利用率对于成本控制有重要影响，在不击穿损坏设备的前提下，需要尽量提高靶材利用率以降低成本，这就需要对靶材的损耗进行测量，目前一般是采用数显卡尺进行测量。

由于靶材使用过程中，受腔体内部气流，磁场及靶材自身材质等因素影响，各部位消耗程度不同，靶材整体会呈现凹凸不平的情况，此时用游标卡尺测量，无法保证游标卡尺和所测量靶材截面处于同一平面，导致测量误差较大，游标卡尺每次只可测量一个位置，最薄处难以寻找，存在效率低、误差大的问题。

因此，有必要设计一种靶材的测量装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中采用游标卡尺对靶材测量，会存在测量误差较大，测量效率低下的问题，而提出一种靶材测量装置。

本实用新型的技术方案是：一种靶材的测量装置，包括测量机构和用于定位靶材的固定底座；所述测量机构包括固定杆；所述固定杆上活动连接有两根测量杆；所述测量杆具有磁性，可吸附在靶材上；所述测量杆的一端设有导向部；所述导向部可与固定底座配合用于对固定杆导向，使得测量杆沿靶材的轴向运动；所述两根测量杆中的其中一根上固定有用于测量两根测量杆之间距离的测距传感器。

所述测量杆远离导向部的一端设有握持部。

所述固定底座的一侧设有与导向部配合的导向板；所述导向板平行于靶材的轴向设置；所述导向部包括导向杆；所述导向杆底部设有与导向板配合的导向槽；所述导向槽内部设有与导向板顶部滚动连接的滚轮。

所述导向板的顶部设置呈外凸的弧面，滚轮的外周面设置呈与导向板配合的内凹的弧面。

所述固定杆上还设有与测距传感器电连接的显示屏(3)。

所述测量杆与靶材的接触面为外凸的弧面。

所述测距传感器为激光测距传感器。

采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：(1)本实用新型采用两根活动测量杆配合测距传感器，能够快速测出靶材各处位置的损耗程度，能够高效测量整根靶材，不需要慢慢寻找靶材最薄处，同时设置了导向部，保证了两根测量杆与测量靶材截面置于同一平面，消除了测量误差，从而能够得到准确数据，为靶材利用率提升和防止过度溅射提供数据支持。

(2)本实用新型在测量杆远离导向部的一端设有握持部，以便于测量时的操作。

(3)本实用新型的导向部采用导向杆，并且在导向杆底部设有与导向板配合的导向槽，并通过导向槽中的滚轮与导向板顶部滚动连接，能够保证固定杆运动的流畅性。

(4)本实用新型的导向板的顶部设置呈外凸的弧面，滚轮的外周面设置呈与导向板配合的内凹的弧面，避免滚轮在运动时脱离导向板的顶部，保证了良好的导向效果。