[实用新型]电池片返工机有效
申请号: | 202320445821.0 | 申请日: | 2023-03-09 |
公开(公告)号: | CN219610457U | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 谈仕祥 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(成都)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67;B08B3/02;B08B3/08 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 别亮亮 |
地址: | 610200 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电池 返工 | ||
本申请涉及一种电池片返工机,包括:运输件,用于运输电池片,运输方向为第一方向;光源,至少位于运输件沿第二方向的一侧,且用于朝电池片发出光线以完成曝光,第二方向与第一方向相垂直;喷淋模块,至少位于运输件沿第二方向的一侧,光源与喷淋模块沿第一方向依次排布,喷淋模块包括沿第一方向依次排布的三组喷淋组件,且沿第一方向依次排布的三组喷淋组件分别用于朝电池片喷淋能够去除镀铜层的碱溶液、能够去除铜种子层的第一酸溶液以及能够去除氧化膜层的第二酸溶液。上述电池片返工机可以专门用于对涂布、曝光与显影工艺中产生的不良片返工,无需占用正常生产时所使用的机台,因此不会影响正常生产,也不会因频繁进行液体更换而造成污染。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,特别是涉及电池片返工机。
背景技术
太阳能电池生产过程中,为了在电池片上形成栅线,电池片通常需要经过涂布、曝光与显影三道工序。而在上述几道工序中,均可能会产生不良片。为了降低损耗,一般会对不良片进行返工,将其还原至原始硅片状态,使其能够再次利用。然而,相关技术中,没有专门进行返工的设备,通常是直接在正常生产时所使用的机台上返工。这不仅会占用机台的正常生产时间,并且由于正常生产与返工时需要使用不同的液体对电池片进行处理,需要经常对用于暂存上述液体的储液槽进行液体更换,操作较为麻烦,且储液槽内的液体容易因更换而造成污染。
实用新型内容
基于此,本实用新型提出一种电池片返工机,可以专门用于对涂布、曝光与显影工艺中产生的不良片进行返工,无需占用正常生产时所使用的机台,因此不会影响正常生产,也不会因频繁进行液体更换而造成污染。
电池片返工机,包括:
运输件,用于运输电池片,且运输方向为第一方向;
光源,至少位于所述运输件沿第二方向的一侧,且用于朝所述电池片发出光线以完成曝光,其中,所述第二方向与所述第一方向相垂直;以及
喷淋模块,至少位于所述运输件沿所述第二方向的一侧,所述光源与所述喷淋模块沿所述第一方向依次排布,所述喷淋模块包括沿所述第一方向依次排布的三组喷淋组件,且沿所述第一方向依次排布的三组所述喷淋组件分别用于朝所述电池片喷淋能够去除镀铜层的碱溶液、能够去除铜种子层的第一酸溶液以及能够去除氧化膜层的第二酸溶液。
在其中一个实施例中,所述运输件沿所述第二方向的两侧均设有所述喷淋模块;
所述运输件包括沿所述第一方向间隔排布的多个运输单元,相邻的所述运输单元之间具有供所述喷淋模块喷出的溶液经过的间隙。
在其中一个实施例中,所述第一方向位于水平面内,所述第二方向垂直于所述水平面;
所述运输件的顶面为用于承载所述电池片的承载面,所述运输件的上方与下方均设有所述喷淋模块,且位于所述运输件下方的所述喷淋模块能够经所述间隙朝所述电池片喷淋溶液。
在其中一个实施例中,所述电池片返工机还包括沿所述第一方向依次排布的多个收液槽,多个所述收液槽一一对应地设置于多组所述喷淋组件的下方。
在其中一个实施例中,所述电池片返工机还包括与多组所述喷淋组件一一对应的多个供液槽,所述供液槽与对应的所述喷淋组件通过供液管路连通,以将所述供液槽内的溶液供至对应的所述喷淋组件;
多个所述供液槽与多个所述收液槽一一对应,所述供液槽与对应的所述收液槽之间通过回收管路连通,以将所述收液槽内的废液回收至对应的所述供液槽。
在其中一个实施例中,以和用于喷淋所述碱溶液的所述喷淋组件对应的所述供液槽为第一供液槽,所述第一供液槽与对应的所述回收管路之间设有过滤网。
在其中一个实施例中,所述运输单元为链轮,相邻的所述链轮之间具有所述间隙。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的