[实用新型]一种用于输送腐蚀性流体的阀

说明书

本实用新型公开了一种用于输送腐蚀性流体的阀，包括阀主体和罩壳，阀主体具有入口流道、出口流道和阀口，阀口用于连通入口流道和出口流道，罩壳内设有延伸到阀主体内的阀轴，其底部设有波纹管阀芯，波纹管阀芯包括：环形安装件；凸缘，与阀主体顶部开设的环形槽密封配合，以将流体限制在阀主体内部；波纹节组，包括多个轴向延伸的波纹节，在阀轴轴向移动时，多个波纹节轴向伸展或压缩；阀芯密封部，形成于波纹节组的底部；阀轴的底端与阀芯密封部相连，阀芯密封部可随阀轴轴向移动以封堵或打开阀口。本实用新型阀主体在启闭过程中依靠波纹节组的伸缩变形来获得轴向位移，环形安装件可保持形状基本无变化，延长了波纹管阀芯的使用寿命。

技术领域

本实用新型属于流体控制阀技术领域，尤其是涉及一种用于输送腐蚀性流体的阀。

背景技术

在半导体行业中，通常使用隔膜阀来输送强腐蚀性液体，隔膜阀一般包括上壳体、阀主体和和阀组件，阀主体中具有用于腐蚀性液体流动的流道，该流道中具有分隔流道上游和流道下游的阀座，以及位于阀座上方的阀口；阀组件一般包括固定部、膜部和阀芯，当阀芯封闭阀座时，阀处于关闭状态，当阀处于开启状态时，则通过膜部阻止腐蚀性液体通过阀口。

现有技术中专利号为CN217898795U的实用新型专利，公开了一种用于输送腐蚀性流体的隔膜阀，包括阀主体，阀组件，膜片压板，及排气流道，阀主体的内部具有用于腐蚀性流体流过的入口流道、出口流道，及用于连接入口流道和出口流道的阀口。其中，阀组件包括阀芯，沿阀芯的周向设置的膜部，及设置在膜部外圈的固定部，固定部将阀组件密封连接在阀主体上，阀芯轴向往复运动实现封堵或打开阀口的目的，在阀芯的状态切换过程中，膜部发生形变。

但是，上述专利的隔膜型膜片在阀主体开启和关闭过程中依靠膜部的上下变形使阀芯密封部获得轴向位移，膜部的起止点长时间翻折会引起疲劳失效，而且受限于尺寸原因，膜部上下变形的距离较小，即阀芯密封部的轴向位移小，阀口开度小，在大口径阀门应用中流量系数低。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种用于输送腐蚀性流体的阀，通过波纹管去调节和增大阀芯密封部的轴向位移，无需主要依靠环形安装件形变来使阀芯密封部进行轴向移动。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种用于输送腐蚀性流体的阀，包括阀主体和安装于阀主体顶部的罩壳，所述阀主体具有供流体流过的入口流道、出口流道和阀口，所述阀口用于连通入口流道和出口流道，所述罩壳内设有可轴向移动的阀轴，所述阀轴延伸到所述阀主体内，所述阀轴的底部设有波纹管阀芯，所述波纹管阀芯包括：

环形安装件；

凸缘，形成于所述环形安装件的外侧，其与所述阀主体顶部开设的环形槽密封配合，以将流体限制在阀主体内部；

波纹节组，形成于所述环形安装件的内侧，包括多个轴向延伸的波纹节，在所述阀轴轴向移动时，多个波纹节轴向伸展或压缩；

阀芯密封部，形成于所述波纹节组的底部；

所述阀轴的底端穿过所述环形安装件和波纹节组的内侧与阀芯密封部相连，所述阀芯密封部可随所述阀轴轴向移动以封堵或打开所述阀口。

本实用新型中，无需主要依靠通过环形安装件的上下变形来获得阀芯密封部的轴向位移，环形安装件可保持形状无变化，或者形状变化很少或者以至于变化可忽略，延长了波纹管阀芯的使用寿命；阀主体在开启和关闭过程中主要依靠波纹节组的压缩和拉伸变形来获得轴向位移，阀芯密封部的轴向位移量由多个波纹节的压缩和拉伸变形量累加所得，增加波纹节的数量可增加阀芯密封部的轴向位移，使用灵活性高，而且阀轴的轴向活动范围大，在大口径阀门中可获得理想的流量系数环形安装件。

进一步，单个所述波纹节包括有平直部分和弯曲部分，所述弯曲部分和平直部分之间光滑过渡，且所述弯曲部分的厚度大于平直部分的厚度。