[实用新型]排气装置及罩式退火炉

权利要求书

1.一种排气装置，其特征在于，包括：

排气管道，与炉台连接；

调节阀、第一控制阀及第二控制阀，依次间隔布设于所述排气管道，且所述第一控制阀位于所述调节阀远离炉台的一侧；

进气组件，与所述排气管道连接，且连接于所述调节阀与所述第一控制阀之间；及

排废组件，与所述排气管道连接，且连接于所述第一控制阀与所述第二控制阀之间；

其中，所述进气组件及所述排废组件均能够与所述排气管道导通和断开，且当所述进气组件与所述排气管道导通时，所述进气组件能够往所述排气管道内输入惰性气体，当所述排废组件与所述排气管道导通时，所述排废组件能够排出所述排气管道中的杂质。

2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气管道包括第一管段、第二管段及第三管段，所述第一管段连接于炉台与所述调节阀之间，所述第二管段连接于所述调节阀与所述第一控制阀之间，所述进气组件连接于所述第二管段，所述第三管段连接于所述第一控制阀与所述第二控制阀之间，所述排废组件连接于所述第三管段。

3.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，所述排气管道还包括第四管段，所述第四管段连接于所述第二控制阀。

4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述进气组件包括气源、进气管及进气控制阀，所述气源用于提供惰性气体，所述进气管连接于所述气源与所述排气管道之间，所述进气控制阀设置于所述进气管。

5.根据权利要求4所述的排气装置，其特征在于，所述进气组件还包括关断阀，所述关断阀设置于所述进气管，且位于所述进气控制阀远离所述排气管道的一侧。

6.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括泄压组件，所述泄压组件与炉台连接，且所述泄压组件能够在炉台的压力大于预设压力时导通，以将炉台内的气体排出。

7.根据权利要求6所述的排气装置，其特征在于，所述泄压组件包括泄压管及泄压阀，所述泄压管一端与炉台连接，所述泄压阀设置于所述泄压管。

8.根据权利要求7所述的排气装置，其特征在于，所述泄压管远离炉台的一端与所述排气管道连接，且连接于所述第一控制阀与所述第二控制阀之间。

9.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排废组件包括排废管及排废阀，所述排废管与所述排气管道连接，所述排废阀设置于所述排废管。

10.一种罩式退火炉，其特征在于，包括炉台及权利要求1-9任一项所述的排气装置。