[实用新型]真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，靶材移动小车上安装有靶材单元，靶材移动小车滑设于导轨，以使靶材单元能够进出真空镀膜室。靶材单元通过靶材移动小车运送至真空镀膜室内，为真空镀膜提供溅射靶材。在对靶材单元进行维护时，靶材移动小车将靶材单元移出真空镀膜室。靶材移动小车上还设置有安装机构，安装机构与靶材移动小车转动连接，靶材单元安装于安装机构，安装机构转动能带动靶材单元在安装位和维护位之间转换，以便在靶材单元需要维护时，将靶材单元旋转至维护位，将靶材单元中留存的冷却水倒出，提高了靶材单元的维护效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机。

背景技术

真空处理属于磁控溅射镀膜的场合，作为镀膜源的溅射靶材可选用圆柱长筒管状结构。在平面溅射机中，可以将圆柱溅射靶材水平放置来进行真空镀膜。

在上述配置中，当溅射靶材需要维护时，一般是通过设置在真空镀膜室的靶材基座小车将其从真空镀膜室中水平抽出进行维护。现有的靶材基座小车一般只能使溅射靶材水平移动，而水平放置的溅射靶材不利于处理溅射靶材中的冷却水。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种真空镀膜机，该真空镀膜机便于处理靶材单元中的冷却水，提高了靶材单元的维护效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

真空镀膜机，包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，所述靶材移动小车上安装有靶材单元，所述靶材移动小车滑设于所述导轨，以使所述靶材单元能够进出所述真空镀膜室，其中，所述靶材移动小车上还设置有安装机构，所述安装机构与所述靶材移动小车转动连接，所述靶材单元安装于所述安装机构，所述安装机构转动能带动所述靶材单元在安装位和维护位之间转换。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车上还设置有固定机构，当所述靶材单元转动至所述维护位时，所述固定机构用于固定所述安装机构。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述固定机构包括定位销，所述安装机构上设置有定位孔，当所述靶材单元转动至所述维护位时，所述定位销与所述定位孔配合，以固定所述安装机构。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述安装机构包括安装基座和安装板，所述靶材单元安装于所述安装基座上，所述安装板设置有两个，两个所述安装板分别设于所述靶材移动小车的两侧，所述安装基座通过传动轴与两个所述安装板转动连接。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车上还设置有第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述传动轴连接，用于驱动所述传动轴转动。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述第一驱动组件包括涡轮蜗杆减速机和手摇把手，所述手摇把手与所述涡轮蜗杆减速机的输入端连接，所述涡轮蜗杆减速机的输出端与所述传动轴连接。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述安装机构还包括承载座，所述承载座可升降的设置于所述安装基座上，所述靶材单元固定于所述承载座。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述承载座与所述安装基座之间设置有第二驱动组件，所述第二驱动组件包括气缸，所述气缸的固定端与所述安装基座连接，所述气缸的驱动端与所述承载座连接。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车还包括推动把手和脚轮，所述脚轮与所述导轨配合，通过所述推动把手推动所述靶材移动小车。

作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车和所述导轨均沿所述真空镀膜室的周向均匀间隔设置有多个，多个所述导轨与多个所述靶材移动小车一一对应配合，且多个所述导轨与所述真空镀膜室的轴线垂直。

本实用新型的有益效果：