[实用新型]一种传送装置和检测装置

权利要求书

1.一种传送装置，其特征在于，包括：

承载机构(2)，所述承载机构设有气浮面，所述气浮面用于气浮支撑待测件(7)的中间区域；以及

传输机构(3)，所述传输机构(3)包括第一传输机构(31)和第二传输机构(32)；沿第一方向，所述第一传输机构(31)和所述第二传输机构(32)设置于所述承载机构(2)的两侧，且所述第一传输机构(31)设有第一吸附面，所述第二传输机构(32)设有第二吸附面，所述第一吸附面和所述第二吸附面用于吸附所述待测件(7)的两侧边缘区域；所述第一传输机构(31)和所述第二传输机构(32)还用于带动所述待测件(7)相对所述承载机构(2)沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相交。

2.如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述第一传输机构(31)和所述第二传输机构(32)用于吸附所述待测件(7)的第一面的两侧边缘区域，所述待测件(7)的第一面靠近所述承载机构(2)，且所述第一传输机构(31)的第一吸附面与所述气浮面齐平，所述第二传输机构(32)的第二吸附面与所述气浮面齐平。

3.如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，还包括基座(1)，所述承载机构(2)和所述传输机构(3)均设置于所述基座(1)。

4.如权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所述第一传输机构(31)和所述第二传输机构(32)均包括直线导轨(311)、直线驱动件(312)和吸附件(313)，所述直线导轨(311)和所述直线驱动件(312)设置于所述基座(1)，所述直线导轨(311)沿所述第二方向延伸，所述吸附件(313)滑动设置于所述直线导轨(311)，所述直线驱动件(312)与所述吸附件(313)连接，所述直线驱动件(312)用于带动所述吸附件(313)相对所述直线导轨(311)移动；所述吸附件(313)用于吸附所述待测件(7)，所述吸附件的表面形成所述第一吸附面和所述第二吸附面。

5.如权利要求4所述的传送装置，其特征在于，所述吸附件(313)设有真空吸附孔，所述真空吸附孔用于真空吸附所述待测件(7)。

6.如权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所述承载机构(2)包括多个气浮板(21)，多个所述气浮板(21)远离所述基座(1)的一侧设有气浮孔(211)，所述气浮孔(211)用于提供支撑所述待测件(7)的气体。

7.如权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所述基座(1)包括支撑底座(11)、隔振器(12)和支撑平台(13)，所述隔振器(12)设置于所述支撑底座(11)，所述支撑平台(13)设置于所述隔振器(12)；所述承载机构(2)和所述传输机构(3)设置于所述支撑平台(13)。

8.一种检测装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至7中任一项所述的传送装置；

第一检测机构(4)，沿第三方向，所述第一检测机构(4)位于靠近所述承载机构(2)的气浮面的一侧，所述第一检测机构(4)被配置为相对所述承载机构(2)沿第一方向移动，所述第一检测机构(4)用于检测所述待测件(7)远离所述承载机构(2)的第二面；以及

第二检测机构(5)，沿所述第三方向，所述第二检测机构(5)位于靠近所述承载机构(2)的气浮面的一侧；沿所述第二方向，所述第一检测机构(4)和所述第二检测机构(5)间隔设置，所述第二检测机构(5)用于检测所述待测件(7)的所述第二面，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

9.如权利要求8所述的检测装置，其特征在于，还包括照明机构(6)，沿第三方向，所述照明机构(6)位于靠近所述承载机构(2)的气浮面的一侧；所述照明机构(6)出射的照明光与所述第三方向成第一夹角，所述第二检测机构(5)采集的检测光与所述第三方向成第二夹角，所述第一夹角和所述第二夹角的大小相同或不同。