[实用新型]一种小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备

权利要求书

1.一种小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，包括与待显影蚀刻掩膜版尺寸相适应的显影蚀刻腔，所述显影蚀刻腔顶部设置有腔口，所述腔口上设置有腔盖；所述显影蚀刻腔内设置有若干喷嘴和用于放置待显影蚀刻掩膜版的升降托台，所述喷嘴后部连接有显影液罐、蚀刻液罐和纯水罐，喷嘴前端均朝向置于所述升降托台上的待显影蚀刻掩膜版；所述升降托台上升由所述腔口位置伸出，完成待显影蚀刻掩膜版上下料。

2.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述喷嘴至少设置有三个，且均固定在所述腔盖的内表面上，并分别与所述显影液罐、所述蚀刻液罐和所述纯水罐连通。

3.根据权利要求2所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述喷嘴以所述升降托台的中轴线呈中心对称状设置有三组，每组均包括有三个喷嘴；同一组中三喷嘴与所述升降托台的中轴线距离依次增大，形成内侧喷嘴、中间喷嘴和外侧喷嘴；所述显影液罐连接不同组中的外侧喷嘴、中间喷嘴和内侧喷嘴；所述蚀刻液罐连接不同组中的外侧喷嘴、中间喷嘴和内侧喷嘴；所述纯水罐连接不同组中的外侧喷嘴、中间喷嘴和内侧喷嘴。

4.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述显影液罐、所述蚀刻液罐和所述纯水罐均包括置于显影蚀刻腔外部的防腐罐体，所述防腐罐体底面设置有直接与所述喷嘴连通的出液口，顶面设置有补液口和进气口，所述进气口上连接有气泵和高压惰性气体罐；所述防腐罐体的外底面上设置有压力传感器。

5.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述腔盖的外面上连接有开盖机构，所述开盖机构包括与腔盖固接的立柱以及分别与立柱顶端和中部铰接的第一连杆和第二连杆；所述第二连杆另一端铰接有第一转轴，所述第一连杆另一端固接有第二转轴，所述第一转轴与所述第二转轴平行且轴线在同一水平面上，所述第二转轴上连接有旋转驱动组件，所述旋转驱动组件包括第一电机、由所述第一电机带动的主动小齿轮以及与所述主动小齿轮啮合的从动大齿轮，所述从动大齿轮与所述第二转轴固接。

6.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述升降托台顶面上均布设置有若干支撑柱，待显影蚀刻掩膜版置于所述支撑柱上；所述升降托台的底面上连接有升降装置，所述升降装置包括安装于显影蚀刻腔内底面上的升降电机和升降导套，所述升降电机顶部设置有升降托板，所述升降托板托起所述升降托台，所述升降导套内套设有升降导柱，所述升降导柱与所述升降托板固接。

7.根据权利要求6所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述升降托台上还连接有旋转装置，所述旋转装置包括与升降托台底面固接且轴线与升降托台中轴线重合的第一齿轮，所述第一齿轮上啮合有第二齿轮，所述第二齿轮上连接有第二电机，所述第二电机安装于所述升降托板上；所述升降托板上表面还固设有圆盘，所述第一齿轮套设在所述圆盘上。

8.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述显影蚀刻腔的底面设置为倾斜底面，所述倾斜底面的底端设置有排液口，所述排液口上连接有三排液管，三所述排液管分别连接显影液回收罐、蚀刻液回收罐和回收水罐；

所述显影蚀刻腔侧面还连接有排雾口，所述排雾口上连接有排雾泵，所述排雾泵出口上连接有集液箱，所述集液箱内呈上下位置交错设置有若干隔雾板，所述隔雾板呈倾斜状设置；所述集液箱上设置有进雾口、排气口和出液口，所述集液箱内底面设置为倾斜平面，所述出液口设置在所述倾斜平面低端，所述进雾口设置在所述隔雾板底部，所述排气口设置在集液箱顶部。

9.根据权利要求6所述的小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，其特征在于，所述升降托台的上表面设置为凸面，所述支撑柱底部与所述凸面固接，顶部齐平。