[实用新型]一种人造钻石晶体生长设备的炉体结构

权利要求书

1.一种人造钻石晶体生长设备的炉体结构，其特征在于，其包括：

晶体炉（2），所述晶体炉（2）由相互嵌套的外炉体（201）和内炉体（202）组成，且外炉体（201）和内炉体（202）一侧的底部均开设有进出口（21），所述晶体炉（2）顶部的中间位置处安装有微波发生器（4），且微波发生器（4）的底部微波发射口位于内炉体（202）的内部；

升降座（1），所述升降座（1）位于晶体炉（2）远离门体（5）的一侧，且升降座（1）内部的中间位置处开设有升降槽（101），所述升降槽（101）内安装有第二丝杆（16），且第二丝杆（16）上套设有与其相配合的第二丝杆套（15），所述升降座（1）内部顶端的中间位置处安装有第二伺服电机（17），且第二伺服电机（17）的输出端通过转轴与第二丝杆（16）连接；

底座（3），所述底座（3）位于晶体炉（2）底部，且底座（3）内部靠近升降座（1）一侧的中间位置处安装有第一伺服电机（11），所述底座（3）内部的中间位置处开设有驱动仓（301），且驱动仓（301）内设置有第一丝杆（7），所述第一伺服电机（11）的输出端通过转轴与第一丝杆（7）连接，且第一丝杆（7）上套设有与其相配合的第一丝杆套（802），所述底座（3）的一侧安装有控制面板（6）；

活动载台（8），所述活动载台（8）位于内炉体（202）内部的底端，且活动载台（8）的底部与第一丝杆套（802）连接，所述活动载台（8）的顶部安装有钻石载板（10），且活动载台（8）底部的边缘位置处均匀设置有滚珠（9）。

2.根据权利要求1所述的一种人造钻石晶体生长设备的炉体结构，其特征在于：所述内炉体（202）内部的中间位置处水平设置有隔板（20），且隔板（20）内部的中间位置处设置有石英窗口（19），所述隔板（20）底部的两侧均安装有摄像头（14），且隔板（20）顶部的两侧均固定有导柱（18）。

3.根据权利要求1所述的一种人造钻石晶体生长设备的炉体结构，其特征在于：所述升降座（1）远离晶体炉（2）一侧的底端安装有真空泵（12），且真空泵（12）上方的升降座（1）上均匀设置有进气控制阀（13），所述真空泵（12）和进气控制阀（13）均与内炉体（202）相联通。

4.根据权利要求1所述的一种人造钻石晶体生长设备的炉体结构，其特征在于：所述钻石载板（10）的边缘位置处设置有限位凸缘（1001），且活动载台（8）的顶部开设有与限位凸缘（1001）形状相吻合的安装槽（801），所述钻石载板（10）的上表面均匀开设有晶种槽（1002）。

5.根据权利要求2所述的一种人造钻石晶体生长设备的炉体结构，其特征在于：所述导柱（18）之间设置有安装架（24），且安装架（24）的内部安装有聚焦镜（22），所述安装架（24）的两侧均设置有与导柱（18）外径相吻合的导套（23），且第二丝杆套（15）与其中一个所述导套（23）连接，所述微波发生器（4）、聚焦镜（22）和石英窗口（19）的中轴线重合。

6.根据权利要求1所述的一种人造钻石晶体生长设备的炉体结构，其特征在于：所述进出口（21）处均铰接有门体（5），且两个门体（5）的开合方向相反，所述门体（5）与进出口（21）的连接处均设有密封胶条，且进出口（21）的宽度大于活动载台（8）的外径。