[实用新型]导气结构、炉管装置及加热炉

权利要求书

1.导气结构，其特征在于，所述导气结构安装于炉管本体(10)的开口端，所述炉管本体(10)包括套设连接的内层管(11)和外层管(12)，所述导气结构包括：

导气连接部(100)，所述导气连接部(100)开设进气结构和排气结构，所述进气结构被配置成允许工艺气体输入，且所述进气结构和所述排气结构位于所述炉管本体(10)的同一端，所述排气结构被配置成允许所述工艺气体离开所述炉管本体(10)的腔室。

2.根据权利要求1所述的导气结构，其特征在于，所述导气连接部(100)包括第一法兰(120)和第二法兰(130)，所述第一法兰(120)连接于所述炉管本体(10)的开口端，所述第二法兰(130)安装于所述第一法兰(120)背离所述炉管本体(10)的一侧，在所述第二法兰(130)与所述第一法兰(120)接触状态下，所述第二法兰(130)能够封闭所述炉管本体(10)的开口；所述排气结构开设于所述第一法兰(120)，所述进气结构的一部分开设于所述第一法兰(120)，另一部分开设于所述第二法兰(130)。

3.根据权利要求2所述的导气结构，其特征在于，所述进气结构包括第一对接通道(121)和第二对接通道(131)，所述第一对接通道(121)开设于所述第一法兰(120)，所述第一对接通道(121)的入口即为所述进气结构的进气口，所述第二对接通道(131)开设于所述第二法兰(130)，所述第二对接通道(131)的出口即为所述进气结构的出气口，所述第二法兰(130)连接于所述第一法兰(120)时，所述第一对接通道(121)连通所述第二对接通道(131)。

4.根据权利要求3所述的导气结构，其特征在于，所述进气结构还包括第三对接通道(122)，所述第三对接通道(122)和所述第一对接通道(121)呈角度相互连通，开设于所述第一法兰(120)，所述第二法兰(130)连接于所述第一法兰(120)时，所述第三对接通道(122)连通所述第二对接通道(131)。

5.根据权利要求3所述的导气结构，其特征在于，所述第一对接通道(121)和所述第二对接通道(131)均为多个，多个所述第一对接通道(121)沿所述第一法兰(120)的周向间隔布置，多个所述第二对接通道(131)沿所述第二法兰(130)的周向间隔布置，所述第二法兰(130)安装于所述第一法兰(120)时，所述第一对接通道(121)和所述第二对接通道(131)一一对应连通。

6.根据权利要求2所述的导气结构，其特征在于，所述导气结构还包括进气管(200)和排气管(300)，所述进气管(200)连接于所述第一法兰(120)和外部工艺气源，且连通所述进气结构；所述排气管(300)连接于所述第一法兰(120)，且连通所述排气结构的出口和外部抽气设备。

7.根据权利要求1-6任一所述的导气结构，其特征在于，所述排气结构包括沿所述导气连接部(100)周向延伸设置的排气环槽(110)以及沿所述导气连接部(100)的径向延伸设置的排气通道(140)；其中：

所述排气环槽(110)与所述炉管本体(10)的腔室连通设置，所述排气通道(140)的一端与所述排气环槽(110)连通，另一端与外部抽气设备连通。

8.根据权利要求7所述的导气结构，其特征在于，所述排气通道(140)为台阶通孔。

9.炉管装置，其特征在于，包括炉管本体(10)和如权利要求1-8任一所述的导气结构，所述炉管本体(10)包括所述内层管(11)和所述外层管(12)，所述内层管(11)设于所述外层管(12)中，所述炉管本体(10)的腔室包括反应腔室(13)和缓冲空间(14)，所述反应腔室(13)与所述导气结构的进气机构连通，所述内层管(11)与所述外层管(12)之间构造形成所述缓冲空间(14)，所述缓冲空间(14)分别与所述反应腔室(13)和所述排气结构连通。

10.加热炉，其特征在于，包括权利要求9所述的炉管装置和炉体本体，所述炉管本体(10)设置于所述炉体本体中，所述导气连接部(100)的一部分固定于所述炉体本体。