[实用新型]一种膜层厚度测试用镀膜机有效
申请号: | 202320921035.3 | 申请日: | 2023-04-14 |
公开(公告)号: | CN219526767U | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 臧伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市镭煜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50;G01B21/08 |
代理公司: | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人: | 苏广洁 |
地址: | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 厚度 测试 镀膜 | ||
1.一种膜层厚度测试用镀膜机,包括密封舱体、密封门和用于承载蒸发舟的支撑台,所述支撑台设置在所述密封门的内侧壁上,其特征在于,
还包括用于贴附薄膜的样品台,所述样品台通过升降调节组件设置在所述密封门的内侧壁上,并且所述样品台位于所述蒸发舟的上方;
所述样品台和所述蒸发舟之间设有可水平移动调节的挡板,使得所述挡板或位于蒸发舟的正上方,或与蒸发舟左右错开。
2.根据权利要求1所述的一种膜层厚度测试用镀膜机,其特征在于,所述密封门的外侧设有用于推动密封门的推动机构,该推动机构包括两根平行的滑轨,所述滑轨位于所述密封门下方。
3.根据权利要求1所述的一种膜层厚度测试用镀膜机,其特征在于,所述支撑台上设有用于夹持蒸发舟的夹持组件,所述夹持组件包括固定座、夹持块、液压杆或电动推杆,所述固定座与所述支撑台固定,所述夹持块通过所述液压杆或所述电动推杆在所述支撑台上可相对所述固定座滑动;所述蒸发舟夹持在所述固定座和所述夹持块之间。
4.根据权利要求1所述的一种膜层厚度测试用镀膜机,其特征在于,所述样品台设有若干用于贴附薄膜的工作面。
5.根据权利要求1所述的一种膜层厚度测试用镀膜机,其特征在于,所述升降调节组件包括电动滑轨和电动旋转台,所述电动滑轨竖向设置在所述密封门上,所述电动旋转台安装在所述电动滑轨的滑块上;所述样品台设于所述电动旋转台的转动盘上。
6.根据权利要求1所述的一种膜层厚度测试用镀膜机,其特征在于,所述支撑台上设有用于移动所述挡板的横移调节组件,所述横移调节组件包括电机、齿轮安装座、齿条和传动轴;
两个所述齿条分别固定安装在所述挡板的两端下方,每个所述齿条配置一个所述齿轮安装座,所述齿轮安装座内置若干齿轮,且齿轮与同一侧的齿条啮合,所述电机的输出端通过传动轴带动两个所述齿轮安装座内的齿轮转动。
7.根据权利要求1所述的一种膜层厚度测试用镀膜机,其特征在于,所述挡板包括挡板主体、连通管和冷却管,所述挡板主体的两端设有所述连通管,所述挡板主体的内部设有若干冷却管,且所有冷却管均连通两侧的连通管,至少一侧的所述连通管的管道接口连接冷却液管。
8.根据权利要求1所述的一种膜层厚度测试用镀膜机,其特征在于,还包括抽真空组件,所述抽真空组件与所述密封舱体连通。
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