[其他]最优扩散条件动态可控渗氮技术无效
| 申请号： | 85100540 | 申请日： | 1985-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN85100540A | 公开（公告）日： | 1986-08-20 |
| 发明（设计）人： | 潘健生;胡明秀;白英彩 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C8/26 | 分类号： | C23C8/26 |
| 代理公司： | 上海交通大学专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 上海市华山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 最优 扩散 条件 动态 可控 技术 | ||
【权利要求书】：
1、一种通过控制气相氮势来控制渗氮层质量的可控渗氮法，本发明的特征在于渗氮过程中进行连续实时控制，气相氮势跟踪最优扩散条件动态控制曲线，由高到低地逐渐变化的动态可控渗氮技术。
2、按权利要求1.所述的动态可控渗氮工艺，其特征在于根据所得出的氮势动态控制曲线，采用在渗氮初期的氮势门槛值控制，随后转入最优扩散条件动态控制的一种混合控制工艺，进行氮势的实时控制。
3、按权利要求1.所述的动态可控渗氮工艺或者按权利要求2.所述的初期氮势门槛值控制与随后最优扩散条件动态控制的混合控制工艺，其特征在于利用微机跟踪氮势动态控制曲线进行氮势实时控制。
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