[发明专利]电绝缘衬底

权利要求书

1、一种在其上制作半导体或太阳能电池的电绝缘衬底，其特征在于，该衬底包括：

一层薄的金属片，以及

一种淀积在该金属片上的非单晶物质，该非单晶物质是分子式如下的无定形物质：

式中X是以(N)，氧(O)，氟(F)，氯(Cl)，溴(Br)，和锗(Ge)这组元素中至少选出的一种，1＞x＞0.1，0.9≥y≥O；和1＞x+y≥0.1。

2、根据权利要求1的电绝缘衬底，其特征在于其中的碳含量按原子计算不少于30%。

3、根据权利要求1的电绝缘衬底，其特征在于其中的介质击穿电压不低于50伏/微米。

4、根据权利要求1的电绝缘衬底，其特征在于其中的介质击穿电压不低于100伏/微米。

5、根据权利要求1的电绝缘衬底，其特征在于其厚度为0.5至100微米。

6、根据权利要求1的电绝缘衬底，其特征在于其厚度为1至10微米。