[其他]一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法

权利要求书

1、一种随机轮廓表面粗糙度校准样块，它是带有一个工作表面的长方形六面体块，其工作表面中部的测量区域由若干呈周期性重复的单向随机轮廓的表面组成，其特征是测量区域（2）的两侧或/和中间有一个以上的光滑参考基准平面（1），上述的测量区域（2）和光滑参考基准平面（1）之间的交界线对应单向随机轮廓的起点。

2、按权利要求1所述的校准样块，其特征是上述的测量区域单向随机轮廓的算术平均偏差Ra为0.015μm至1.5μm。

3、一种专用于制造权利要求1所述的随机轮廓表面粗糙度校准样块的方法，其特征是采用研磨方法对上述的光滑参考基准平面和测量区域分别进行加工。

4、按权利要求3所述的制造方法，其特征是：

（1）用研磨的方法预加工上述样块的光滑参考基准平面;

（2）根据测量区域Ra值的不同，选择适合粒度的研磨工具，在光滑参考基准平面的中部研磨出作为测量区域的单向随机轮廓表面;

（3）采用开有两条以上沟槽的研磨平台沿导轨对单向随机轮廓表面分段进行加工，以保证在不同法向截面内单向随机轮廓均匀一致。

5、按权利要求4所述的制造方法，其特征是测量区域不同Ra值的加工还可以通过调节研磨压力的大小进行控制。