[其他]一种微小光程差测量系统

权利要求书

1、一种微小光程差测量系统，是由双频激光源，共程光路，非共程光路，光混频器和信号处理系统组成。其特征在于：光源选用光频稳定度在1×10^-8～5×10^-11之间，频差值在30KHz～150KHz之间，差频稳定度在1×10^-4～1×10^-6之间的双稳频双频激光源，非共程光路采用双臂可调程平行光路结构，并在此光路中置入电光移相器和光程补偿器。

2、按权利要求1所述的测量系统，其特征在于：非共程光路由偏振分束器〔11〕，二平面反射镜组〔13〕、〔14〕和〔17〕、〔18〕以及合束器〔15〕组成，二不同频率光经偏振分束器〔11〕分离为成90°角的两个支臂光路，每一支臂光路中的平面反射镜组〔13〕、〔14〕或〔17〕、〔18〕的二反射面互相垂直，而且对二不同频率光均为45°入射，合束器〔15〕位于二不同频率光重新会合处，而且其分光面对二不同频率光也均呈45°入射。

3、按权利要求2所述的非共程光路，其特征在于：反射镜〔13〕、〔14〕可以一起沿反射镜〔14〕反射光方向前后平移，反射镜〔18〕和合束器〔15〕也可以沿上述方向一起平移。

4、按权利要求1、2或3所述的测量系统，其特征在于：在非共程光路中的任一支臂光路中插入电光移相器〔16〕，而在另一支臂光路中插入与电光移相器等光程的光程补偿器〔12〕。

5、按权利要求1所述的测量系统，其特征在于：双频激光源选用光频稳定度为1×10^-10，频差值为60KHz，差频稳定度为1×10^-5的横向塞曼效应稳频的He-Ne双频激光器。

6、按权利要求1所述的测量系统的用途，其特征在于：可测量1～一个光波长范围内的微小位移量，微小变形量、相应的微小角度变化量，以及它们的变化过程或者测量1～一个光波长范围内的透明体的微小折射率变化和微小变形引起的光程变化，及其随时间变化或空间分布。